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公开(公告)号:CN1955723A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200610143649.4
申请日:2006-10-24
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01B11/2513 , F01D5/005 , G01B5/205 , G06T7/521
Abstract: 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72),光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22),和用于接收从物体反射的光的成像传感器(24)。该方法包括确定(74)要检查的物体的轮廓(56),并且基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩。电子光罩具有电子开口(62、68),电子开口(62、68)具有定义为从光源和成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓(64、70)。
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公开(公告)号:CN1955719A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200610163907.5
申请日:2006-10-24
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01B11/2513
Abstract: 一种用于检验物体(12)的方法(38)包括:从液晶显示(LCD)装置和硅基液晶(LCOS)装置的至少一个中发射(40)光;相移(42)从LCD装置和LCOS装置的至少一个中发射的光;将相移的光投影(44)到物体的表面上;利用成像传感器(24)接收(46)从物体表面反射的光;以及分析(50)由成像传感器接收到的光以便于检验该物体的至少一部分。
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公开(公告)号:CN1955719B
公开(公告)日:2011-06-08
申请号:CN200610163907.5
申请日:2006-10-24
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01B11/2513
Abstract: 用于检验物体的方法和装置;一种用于检验物体(12)的方法(38)包括:从液晶显示(LCD)装置和硅基液晶(LCOS)装置的至少一个中发射(40)光;相移(42)从LCD装置和LCOS装置的至少一个中发射的光;将相移的光投影(44)到物体的表面上;利用成像传感器(24)接收(46)从物体表面反射的光;以及分析(50)由成像传感器接收到的光以便于检验该物体的至少一部分。
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公开(公告)号:CN1955723B
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:CN200610143649.4
申请日:2006-10-24
Applicant: 通用电气公司
CPC classification number: G01B11/2513 , F01D5/005 , G01B5/205 , G06T7/521
Abstract: 一种用于生成与光测量系统(10)一起使用的光罩(50、52)的方法(72),光测量系统(10)包括用于将光投射到物体(12)上的光源(22),和用于接收从物体反射的光的成像传感器(24)。该方法包括确定(74)要检查的物体的轮廓(56),并且基于所确定的物体轮廓生成(86)电子光罩。电子光罩具有电子开口(62、68),电子开口(62、68)具有定义为从光源和成像传感器其中之一的视角来看基本上与所确定的物体轮廓匹配的轮廓(64、70)。
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