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公开(公告)号:CN107894691A
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201711174780.1
申请日:2014-12-04
Applicant: 迪睿合株式会社
CPC classification number: B29C33/424 , B29C33/38 , B29C33/3842 , B29C35/0805 , B29C35/0888 , B29C41/28 , B29C59/04 , B29C59/046 , B29D11/0074 , B29K2909/08 , B29L2011/00 , C03C15/00 , C03C2218/34 , G03F7/0002 , G03F7/24 , G11B7/261
Abstract: 提供能够均匀地转印微细图案的圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法。使用由圆筒形状的石英玻璃构成且内部应变以双折射量为小于70nm/cm的圆筒基体材料(11)。在该圆筒基体材料(11)的外周表面成膜抗蚀剂层,并在抗蚀剂层形成潜影,使形成潜影的抗蚀剂层显影,并以显影的抗蚀剂层的图案为掩模进行蚀刻,形成由在圆筒基体材料(11)的外周表面排列多个的凹部或凸部构成的结构体(12)。
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公开(公告)号:CN109791873B
公开(公告)日:2023-09-15
申请号:CN201780056662.2
申请日:2017-09-05
Applicant: 迪睿合株式会社
Abstract: 本发明提供一种在外周面上包括凹部或凸部以高精度连续排列的凹凸结构的母盘及该母盘的制造方法。本该母盘包括圆筒或圆柱形状的基材;以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构;所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以固定周期连续排列的结构;所述凹部或凸部在所述基材的轴向上相邻的周之间具有规定的相位差而排列。该母盘的制造方法包括通过多个信号生成电路共用基准时钟,通过各个所述多个信号生成电路生成旋转控制信号和曝光信号的步骤;以及基于所述旋转控制信号使圆筒或圆柱形状的基材以所述基材的中心轴为轴旋转,并且,基于所述曝光信号在所述基材的轴向上扫描并向所述基材的外周面照射激光,在所述基材的外周面上形成图案的步骤。
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公开(公告)号:CN106536163B
公开(公告)日:2020-07-28
申请号:CN201580039855.8
申请日:2015-07-14
Applicant: 迪睿合株式会社
Abstract: 本发明的课题为提供一种形成有任意图案的原盘。解决方案为一种原盘的制造方法,其包含:在圆筒或圆柱形的基材的外周面形成薄膜层的步骤;基于描画有对象物的输入图像,生成与所述对象物对应的控制信号的步骤;基于所述控制信号对所述薄膜层照射激光,在所述薄膜层形成与所述对象物对应的薄膜图案的步骤;以及将形成有所述薄膜图案的所述薄膜层用于掩模,在所述基材的所述外周面形成与所述对象物对应的图案的步骤。
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公开(公告)号:CN117111412A
公开(公告)日:2023-11-24
申请号:CN202311084749.4
申请日:2017-09-05
Applicant: 迪睿合株式会社
Abstract: 本发明提供一种在外周面上包括凹部或凸部以高精度连续排列的凹凸结构的母盘及转印物。本发明的该母盘包括圆筒或圆柱形状的基材;以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构;所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以可见光区域的波长以下的点间距且螺旋状地连续排列的结构;所述凹部或凸部在所述基材的轴向上相邻的周之间具有规定的相位差而排列。该转印物在片状基材上形成有形成在上述的母盘的外周面上的所述凹凸结构的反转形状。
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公开(公告)号:CN116438070A
公开(公告)日:2023-07-14
申请号:CN202180067088.7
申请日:2021-09-29
Applicant: 迪睿合株式会社
Inventor: 村本穣
Abstract: 本发明能够提高在处理光学膜时的可视性,而且能够通过同一加工工序在光学膜的表面容易地形成防反射区域和可视区域。光学膜(1)具备:具有可挠性的基材(11);和被层叠在基材(11)的至少一个表面上的树脂层(12)。树脂层(12)包括:凹凸图案区域(2),其形成有由以可见光的波长以下的间距(P)而排列的多个凸部(21)或凹部(22)构成的微细凹凸构造(20);带状的线标记区域(3),其形成有以可见光的波长以上的轨距(PtPt)而彼此隔着间隔地排列的多个凸条部(31)。
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公开(公告)号:CN106536163A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201580039855.8
申请日:2015-07-14
Applicant: 迪睿合株式会社
Abstract: 本发明的课题为提供一种形成有任意图案的原盘。解决方案为一种原盘的制造方法,其包含:在圆筒或圆柱形的基材的外周面形成薄膜层的步骤;基于描画有对象物的输入图像,生成与所述对象物对应的控制信号的步骤;基于所述控制信号对所述薄膜层照射激光,在所述薄膜层形成与所述对象物对应的薄膜图案的步骤;以及将形成有所述薄膜图案的所述薄膜层用于掩模,在所述基材的所述外周面形成与所述对象物对应的图案的步骤。
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公开(公告)号:CN105408265A
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201480043133.5
申请日:2014-12-04
Applicant: 迪睿合株式会社
CPC classification number: B29C33/424 , B29C33/38 , B29C33/3842 , B29C35/0805 , B29C35/0888 , B29C41/28 , B29C59/04 , B29C59/046 , B29D11/0074 , B29K2909/08 , B29L2011/00 , C03C15/00 , C03C2218/34 , G03F7/0002 , G03F7/24 , G11B7/261
Abstract: 提供能够均匀地转印微细图案的圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法。使用由圆筒形状的石英玻璃构成且内部应变以双折射量为小于70nm/cm的圆筒基体材料(11)。在该圆筒基体材料(11)的外周表面成膜抗蚀剂层,并在抗蚀剂层形成潜影,使形成潜影的抗蚀剂层显影,并以显影的抗蚀剂层的图案为掩模进行蚀刻,形成由在圆筒基体材料(11)的外周表面排列多个的凹部或凸部构成的结构体(12)。
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公开(公告)号:CN109791873A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780056662.2
申请日:2017-09-05
Applicant: 迪睿合株式会社
Abstract: 本发明提供一种在外周面上包括凹部或凸部以高精度连续排列的凹凸结构的母盘及该母盘的制造方法。本该母盘包括圆筒或圆柱形状的基材;以及在所述基材的外周面形成的凹凸结构;所述凹凸结构是在所述基材的周向上凹部或凸部以固定周期连续排列的结构;所述凹部或凸部在所述基材的轴向上相邻的周之间具有规定的相位差而排列。该母盘的制造方法包括通过多个信号生成电路共用基准时钟,通过各个所述多个信号生成电路生成旋转控制信号和曝光信号的步骤;以及基于所述旋转控制信号使圆筒或圆柱形状的基材以所述基材的中心轴为轴旋转,并且,基于所述曝光信号在所述基材的轴向上扫描并向所述基材的外周面照射激光,在所述基材的外周面上形成图案的步骤。
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公开(公告)号:CN105408265B
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201480043133.5
申请日:2014-12-04
Applicant: 迪睿合株式会社
CPC classification number: B29C33/424 , B29C33/38 , B29C33/3842 , B29C35/0805 , B29C35/0888 , B29C41/28 , B29C59/04 , B29C59/046 , B29D11/0074 , B29K2909/08 , B29L2011/00 , C03C15/00 , C03C2218/34 , G03F7/0002 , G03F7/24 , G11B7/261
Abstract: 提供能够均匀地转印微细图案的圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法。使用由圆筒形状的石英玻璃构成且内部应变以双折射量为小于70nm/cm的圆筒基体材料(11)。在该圆筒基体材料(11)的外周表面成膜抗蚀剂层,并在抗蚀剂层形成潜影,使形成潜影的抗蚀剂层显影,并以显影的抗蚀剂层的图案为掩模进行蚀刻,形成由在圆筒基体材料(11)的外周表面排列多个的凹部或凸部构成的结构体(12)。
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