公开(公告)号：CN110546517A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201880011291.0

申请日：2018-01-16

Applicant: 迪睿合株式会社

Inventor： 石松朋之 ,  熊仓博之 ,  青木正治 ,  久保田贵子

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  H01R12/68

Abstract: 提供即便在以微小间距形成的焊盘或凸点形成有氧化膜的情况下也能检查电特性的电特性的检查夹具。电特性的检查夹具具备：柔性片（11）；在柔性片（11）的一个面（11a）具有凹部（12a）的贯通电极（12）；以及配置在贯通电极（12）的凹部（12a）的导电性弹性体（13）。使焊盘或凸点与导电性弹性体接触，并使探针与贯通电极（12）接触，从而在检查对象物的焊盘或凸点形成有氧化膜的情况下导电性弹性体（13）中的导电性粒子也会冲破氧化膜，所以能够检查电特性。

公开(公告)号：CN110546517B

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN201880011291.0

申请日：2018-01-16

Applicant: 迪睿合株式会社

Inventor： 石松朋之 ,  熊仓博之 ,  青木正治 ,  久保田贵子

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  H01R12/68

Abstract: 提供即便在以微小间距形成的焊盘或凸点形成有氧化膜的情况下也能检查电特性的电特性的检查夹具。电特性的检查夹具具备：柔性片（11）；在柔性片（11）的一个面（11a）具有凹部（12a）的贯通电极（12）；以及配置在贯通电极（12）的凹部（12a）的导电性弹性体（13）。使焊盘或凸点与导电性弹性体接触，并使探针与贯通电极（12）接触，从而在检查对象物的焊盘或凸点形成有氧化膜的情况下导电性弹性体（13）中的导电性粒子也会冲破氧化膜，所以能够检查电特性。