公开(公告)号：CN217438343U

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN202220967311.5

申请日：2022-04-25

Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司

Inventor： 杜珂 ,  嵇星 ,  张野

IPC: C30B33/02 ,  C30B29/06

Abstract: 本实用新型公开了一种用于单晶硅片的退火支架，包括底座，底座的顶部中心处转动连接有底部支架，底座的内腔固定安装有电机，且电机的输出端与底部支架固定连接，底部支架通过调节机构连接装配有顶部支架，底部支架与顶部支架的相对侧壁均开设有夹持槽。通过底部支架带动单晶硅片进行旋转，对单晶硅片进行冷却降温，顶部支架的高度通过调节机构进行调节，方便对不同尺寸大小的单晶硅片进行夹持固定，同时在调节机构内设置有定位组件，通过定位组件可以保持对顶部支架调节后位置的稳定，在调节机构的固定轴内开设有辅助散热腔和散热槽，通过辅助散热腔与散热槽的配合，便于单晶硅片附近的空气流动，加强对单晶硅片的冷却效果。

公开(公告)号：CN219777768U

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202321109939.2

申请日：2023-05-10

Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司

Inventor： 嵇星 ,  王硕 ,  朱粤明

IPC: G01R1/04 ,  G01R27/02

Abstract: 本实用新型公开了一种半导体材料测试的四探针测试仪，包括测试仪主体和操作台，操作台的顶部固定连接有固定轴，固定轴的外侧壁套接有升降架，升降架的侧壁固定连接有连接架，升降架通过连接架固定装配有探头装配架，探头装配架内嵌入安装有测试探头，操作台的表面嵌入安装有固定板，固定板的表面装配有材料放置台，材料放置台内嵌入安装有固定组件，材料放置台通过固定组件与固定板吸附固定。可以通过移动材料放置台来完成测试位置的改变，操作过程简单、方便，通过本装置可以不再需要使用镊子等工具对待测试材料进行多次移动，节约测试过程，提高测试效率。