公开(公告)号：CN104016295B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201310334370.4

申请日：2013-08-02

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 林士杰 ,  黄肇达 ,  苏中源 ,  许郁文

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0857

Abstract: 本发明公开了一种具指插式弹簧的微机电装置，包括基板、至少一质量块、移动电极、固定电极、固定座以及指插式弹簧。移动电极沿轴向配置在质量块上。固定电极沿轴向配置在基板上，且移动电极与固定电极之间具有一临界间隙。指插式弹簧沿轴向连接质量块与固定座。指插式弹簧包含多个第一折叠部、多个第一连接部、多个第二折叠部以及多个第二连接部。第一折叠部包含二个第一延展部及第一头部。第二折叠部包含二个第二延展部及第二头部。第一延展部的宽度大于此临界间隙，且第二延展部的宽度大于此临界间隙。

公开(公告)号：CN104016295A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201310334370.4

申请日：2013-08-02

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 林士杰 ,  黄肇达 ,  苏中源 ,  许郁文

IPC: B81B5/00 ,  B81B7/00 ,  G01P15/14 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0857

Abstract: 本发明公开了一种具指插式弹簧的微机电装置，包括基板、至少一质量块、移动电极、固定电极、固定座以及指插式弹簧。移动电极沿轴向配置在质量块上。固定电极沿轴向配置在基板上，且移动电极与固定电极之间具有一临界间隙。指插式弹簧沿轴向连接质量块与固定座。指插式弹簧包含多个第一折叠部、多个第一连接部、多个第二折叠部以及多个第二连接部。第一折叠部包含二个第一延展部及第一头部。第二折叠部包含二个第二延展部及第二头部。第一延展部的宽度大于此临界间隙，且第二延展部的宽度大于此临界间隙。

公开(公告)号：CN103185574A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201210129066.1

申请日：2012-04-23

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 苏中源 ,  黄肇达 ,  林士杰 ,  许郁文

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 一种微机电系统装置，其包括设置于第一框架内的双感测质量块，而能同时感测双轴的角速度。再者，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借将两个振荡模块连接在杠杆结构的两端，而使其运动时让两个振荡模块达到彼此同步且反向的运动模式。此外，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借连接在感测质量块与移动电极间的弹簧组件，而限制感测质量块仅能以特定方向驱动移动电极。

公开(公告)号：CN103185574B

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201210129066.1

申请日：2012-04-23

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 苏中源 ,  黄肇达 ,  林士杰 ,  许郁文

IPC: G01C19/5684

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 一种微机电系统装置，其包括设置于第一框架内的双感测质量块，而能同时感测双轴的角速度。再者，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借将两个振荡模块连接在杠杆结构的两端，而使其运动时让两个振荡模块达到彼此同步且反向的运动模式。此外，具有振荡模块的微机电系统装置亦凭借连接在感测质量块与移动电极间的弹簧组件，而限制感测质量块仅能以特定方向驱动移动电极。