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公开(公告)号:CN105829958B
公开(公告)日:2019-08-20
申请号:CN201480069445.3
申请日:2014-11-20
申请人: 西铁城时计株式会社
IPC分类号: G02F1/13 , G02F1/1343 , G02F1/1347
摘要: 液晶光学器件具有沿着光轴排列的多个液晶元件(2-1~2-3)。在该液晶光学器件中,各液晶元件具有封入有在规定的方向上取向了的液晶分子(15)的液晶层(10)以及配置成隔着液晶层(10)对置的两个透明电极(13、14),两个透明电极中的至少一方具有多个部分电极(13-1~13-n),并且在按规定的等级数分割了对透过液晶层的光束赋予的相位分布中的相位调制量的最大值与最小值之差时,针对此时的每个等级,在对光束赋予该等级的相位调制量的液晶层的部分配置多个部分电极中的至少一个,相对于光束的相邻的两个部分电极间的边界的位置针对每个液晶元件而不同。
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公开(公告)号:CN104081259B
公开(公告)日:2017-06-06
申请号:CN201380007865.4
申请日:2013-02-01
申请人: 西铁城时计株式会社
CPC分类号: G02B26/06 , G02B21/0032 , G02B21/0052 , G02B21/0056 , G02B21/082 , G02B27/0068 , G02F1/134309 , G02F2203/18 , G02F2203/50
摘要: 相位调制设备(3)对从相干光源(1)出射的相干光的光束的光路中配置的包含物镜(4)的光学系统所产生的波面像差进行校正。为此,相位调制设备(3)具有:相位调制元件(11),其形成有多个电极,根据被分别施加于这些电极的电压对光束的相位进行调制;和对施加于多个电极的电压进行控制的控制电路(12)。控制电路对施加于多个电极的电压进行控制,以将基于相位调制轮廓的相位调制量赋予光束,该相位调制轮廓由以泽尼克多项式分解了由光学系统产生的波面像差的相位分布时的、三阶球面像差与五阶球面像差之比和物镜(4)的数值孔径的关系式来决定,该相位调制轮廓具有相位分布的逆极性。
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公开(公告)号:CN104303090B
公开(公告)日:2017-08-15
申请号:CN201380025759.9
申请日:2013-03-15
申请人: 西铁城时计株式会社
CPC分类号: G02B21/0072 , G02B5/1814 , G02B5/3016 , G02B5/3083 , G02B21/0032 , G02B21/06 , G02B26/06 , G02B27/0031 , G02B27/0068 , G02B27/283 , G02F1/01 , G02F1/0311 , G02F1/1313 , G02F1/13306 , G02F1/13363 , G02F1/134309 , G02F1/1347 , G02F1/1393 , G02F1/19 , G02F2203/12 , G02F2203/18 , G02F2203/50
摘要: 像差校正器件(3)对包含配置于从相干光源(1)射出的光束的光路中的物镜(4)的光学系统所产生波像差进行校正。为此,像差校正器件(3)包括:对称性像差校正元件(3a),其校正在光路中产生的波像差之中的、作为相对于光轴对称的波像差的对称性像差;非对称性像差校正元件(3a),其校正对于斜入射到物镜(4)而产生的、作为相对于光轴而非对称的波像差的非对称性像差。
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公开(公告)号:CN106716220A
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201580051817.4
申请日:2015-06-22
申请人: 西铁城时计株式会社
发明人: 田边绫乃
CPC分类号: H04L27/389 , G02B21/00 , G02B21/0028 , G02B21/0032 , G02B21/0036 , G02B21/0072 , G02B21/0076 , G02B21/0088 , G02B21/082 , G02B26/06 , G02B27/0068 , G02F1/13 , G02F2203/18 , G02F2203/50 , H01J3/14 , H04L27/361
摘要: 本发明的相位调制设备(3)具有:第1相位调制元件(11),其根据施加至多个第1电极中的各电极的电压来调制光束的相位,所述多个第1电极形成为,将与由包含物镜(4)的光学系统产生的波像差的第2像差成分相对于第1像差成分的第1比所对应的相位分布反极性的相位调制量赋予光束;第2相位调制元件(12),其根据施加至多个第2电极中的各电极的电压来调制光束的相位,所述多个第2电极形成为,将与第2像差成分相对于第1像差成分的第2比所对应的相位分布反极性的相位调制量赋予光束;以及控制电路(13),其根据从物镜到光束的聚光位置为止的距离来控制施加至多个第1电极及多个第2电极的电压。
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公开(公告)号:CN106716220B
公开(公告)日:2019-03-29
申请号:CN201580051817.4
申请日:2015-06-22
申请人: 西铁城时计株式会社
发明人: 田边绫乃
摘要: 本发明的相位调制设备(3)具有:第1相位调制元件(11),其根据施加至多个第1电极中的各电极的电压来调制光束的相位,所述多个第1电极形成为,将与由包含物镜(4)的光学系统产生的波像差的第2像差成分相对于第1像差成分的第1比所对应的相位分布反极性的相位调制量赋予光束;第2相位调制元件(12),其根据施加至多个第2电极中的各电极的电压来调制光束的相位,所述多个第2电极形成为,将与第2像差成分相对于第1像差成分的第2比所对应的相位分布反极性的相位调制量赋予光束;以及控制电路(13),其根据从物镜到光束的聚光位置为止的距离来控制施加至多个第1电极及多个第2电极的电压。
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公开(公告)号:CN105009002B
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201480012264.7
申请日:2014-02-07
申请人: 西铁城时计株式会社
摘要: 一种光束分割元件,具有:相位调制元件,其使入射的光的具有相互正交的偏振面的第一偏振分量和第二偏振分量之间产生相位差;和至少一个双折射透镜,其将透过相位调制元件的光分割为具有第一偏振分量的第一光束和具有第二偏振分量的第二光束,并且,使第一光束以及第二光束沿着同一光轴出射,且将第一光束以及第二光束中的至少一方作为会聚光束。相位调制元件具有液晶层和夹着液晶层相对配置的两个透明电极,所述液晶层的液晶分子的长轴方向被取向为朝向第一偏振方向,相位调制元件使第一偏振分量和第二偏振分量之间产生与施加于两个透明电极间的电压相对应的相位差。
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公开(公告)号:CN104823096B
公开(公告)日:2018-01-19
申请号:CN201380062628.8
申请日:2013-11-05
申请人: 西铁城时计株式会社
IPC分类号: G02B21/06 , G02B5/18 , G02B5/30 , G02F1/13 , G02F1/1335 , G02F1/13363 , G02F1/1347
CPC分类号: G02B21/361 , G02B5/1871 , G02B21/082 , G02B26/06 , G02B27/1086 , G02B27/286 , G02B27/4205 , G02B27/425 , G02B27/58 , G02B27/60 , G02F1/1333 , G02F1/1335 , G02F1/13363 , G02F1/134309 , G02F1/1347 , G02F2203/50
摘要: 光调制元件(103)具有:选择衍射元件(10、10’),使作为具有沿着第1偏振方向的偏振面的直线偏振光的照明光沿着多个方向中的某一个方向进行衍射而生成多个级数的衍射光,并且使所述多个级数的衍射光之间产生相位差;以及偏振面旋转元件(14),使多个级数的衍射光的偏振面旋转到与自光轴起的放射方向正交的方向。
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