公开(公告)号：CN100561702C

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200810017335.9

申请日：2008-01-18

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 苗欣 ,  邵志标 ,  李宇海 ,  傅懿斌

IPC: H01L21/66

Abstract: 半导体掺杂分布的精确测量方法，在传统KMK方法的测量结果上，考虑耗尽区的影响，通过迭代收敛的修正方法得出真实的掺杂浓度分布，突破了测量精度的限制，利用由数值模拟得到的过渡区多子分布关系式，避免了重复求解泊松方程；提出新的收敛公式有效提高了收敛速度并成功解决了结果的“不收敛”和“不唯一”问题；建立了新的收敛比较标准，省去了C-x转化为C-V的繁复计算过程。整个数据处理步骤清楚，简便易行。

公开(公告)号：CN101252098A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200810017335.9

申请日：2008-01-18

Applicant: 西安交通大学

Inventor： 苗欣 ,  邵志标 ,  李宇海 ,  傅懿斌

IPC: H01L21/66

Abstract: 半导体掺杂分布的精确测量方法，在传统KMK方法的测量结果上，考虑耗尽区的影响，通过迭代收敛的修正方法得出真实的掺杂浓度分布，突破了测量精度的限制，利用由数值模拟得到的过渡区多子分布关系式，避免了重复求解泊松方程；提出新的收敛公式有效提高了收敛速度并成功解决了结果的“不收敛”和“不唯一”问题；建立了新的收敛比较标准，省去了C－x转化为C－V的繁复计算过程。整个数据处理步骤清楚，简便易行。