线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备及光刻图案化的应用

    公开(公告)号:CN117111405A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310978758.1

    申请日:2023-08-04

    Abstract: 本发明公开了一种线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备及光刻图案化的应用,其由二甲氧基(甲基)(苯并环丁烯基乙烯基)硅烷类线性聚合物、光引发体系和有机溶剂配制形成光敏溶液,通过光敏溶液制备光敏薄膜,即用于光刻图案化的线性聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂。本发明的光敏体系光固化后所得的图案具有较高的清晰度,通过光/热双交联过程,所得的薄膜具有较高的热稳定性;同时在热处理过程中,未反应的光引发剂会热分解,不会影响薄膜的介电性能;本发明提供的线性聚硅氧烷光敏树脂,具有比较优异的介电性能(10GHz,Dk:2.7,Df:0.002~0.003)、耐热性(T5%:450℃)以及化学稳定性,有望应用于微电子领域。

    具有硅杂环丁烷交联结构的环硅氧烷聚合单体及其制备方法

    公开(公告)号:CN111253430B

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202010199246.1

    申请日:2020-03-20

    Abstract: 本发明公开了式(Ⅰ)所示的五环丁硅基环五硅氧烷聚合单体及其制备方法,该化合物的制备方法是:以1,1‑二氯‑1‑硅杂环丁烷为起始原料,在溶剂和/或碱作用下分别与取代硅醇或硅氯发生自身水解或共水解,得到具有硅杂环丁烷交联结构的环硅氧烷聚合单体。进一步,还公开了四苯基二环丁硅基环四硅氧烷聚合单体和六甲基三环丁硅基环六硅氧烷聚合单体及其制备方法。采用本发明,环硅氧烷聚合单体产物制备过程简便,产物收率高,成本低,经固化后所得的聚环硅氧烷树脂具有优良的热学性能、力学性能、电学性能和成膜性能;在微电子工业、航空航天和国防等领域适用作为高性能低介电薄膜材料或封装材料。

    一种用于放射性药物合成分装通风装置

    公开(公告)号:CN112750545A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202110065128.6

    申请日:2021-01-18

    Abstract: 本发明公开了一种用于放射性药物合成分装通风装置,包括壳体,所述壳体的左侧壁上固定连接有进气口,所述进气口的内侧壁上开设有进气机构,所述壳体的内侧壁上固定连接有第一分隔板,所述第一分隔板的底部固定连接有灭菌灯,所述壳体的内侧壁上固定连接有气囊管,所述气囊管的内部滑动连接有滑动杆,本发明中,通过阻气板、拉绳、滑轮、开合机构之间的配合使用,气体将阻气板向右侧推动时,阻气板将会向右侧拉动拉绳.进而使得拉绳将开合板打开,气体通过出气口排出,当关闭通风时,阻气板将会复位,使得阻气板放松拉绳,开合板将会在第二弹簧的弹力作用下将出气口关闭,避免外界气体在停止通风时通过出气口回流对内部造成影响。

    支化型苯并环丁烯基聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备及应用

    公开(公告)号:CN116880126A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202310992069.6

    申请日:2023-08-08

    Abstract: 本发明公开了一种用于光刻图案化的支化型苯并环丁烯基聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂的制备及光刻图案化的应用,由4‑(三甲氧基乙烯基硅基)苯并环丁烯、4‑(二甲氧基乙烯基甲基硅基)苯并环丁烯、4‑(乙氧基乙烯基二甲基硅基)苯并环丁烯三者合成的聚合物以及光引发体系和有机溶剂配制形成光敏溶液,并制备光敏薄膜,即用于光刻图案化的支化型苯并环丁烯基聚硅氧烷低介电损耗光敏树脂,该光敏树脂能通过光固化使聚合物链中的双键交联而不溶于显影溶液,因此得到边缘整齐、精度较高的图案,通过引入苯并环丁烯基团,通过苯并环丁烯的热交联固化来形成光/热双交联结构,提高了支化型光敏树脂的热稳定性,同时,图案在热处理过程中发生轻微变形。

    一种金属有机化学气相沉淀设备

    公开(公告)号:CN112853310B

    公开(公告)日:2022-03-22

    申请号:CN202110025494.9

    申请日:2021-01-08

    Abstract: 本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀设备,包括反应壳,所述反应壳采用封闭的壳体,所述反应壳的底端外侧固定连接有多个支撑脚,所述反应壳的顶端固定且连通有气管,所述反应壳的内壁上固定连接有支撑杆,且支撑杆水平设置,所述支撑杆远离反应壳的一端固定连接有用于气相沉淀的反应托盘,所述反应托盘采用中空的矩形结构,所述反应托盘的顶端开设有开口。本发明通过设置升降机构,驱动第二减速电机,第二减速电机带动输出端的蜗杆转动,蜗杆进而带动与之啮合的蜗轮转动,蜗轮带动螺母转动,螺母带动螺杆上下运动,螺杆为升降机构的输出端,螺杆带动其底端的连接架和固定板上下运动,从而便于毛刷的清洁与刮刀的刮除。

    一种金属有机化学气相沉淀设备

    公开(公告)号:CN112853310A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110025494.9

    申请日:2021-01-08

    Abstract: 本发明公开了一种金属有机化学气相沉淀设备,包括反应壳,所述反应壳采用封闭的壳体,所述反应壳的底端外侧固定连接有多个支撑脚,所述反应壳的顶端固定且连通有气管,所述反应壳的内壁上固定连接有支撑杆,且支撑杆水平设置,所述支撑杆远离反应壳的一端固定连接有用于气相沉淀的反应托盘,所述反应托盘采用中空的矩形结构,所述反应托盘的顶端开设有开口。本发明通过设置升降机构,驱动第二减速电机,第二减速电机带动输出端的蜗杆转动,蜗杆进而带动与之啮合的蜗轮转动,蜗轮带动螺母转动,螺母带动螺杆上下运动,螺杆为升降机构的输出端,螺杆带动其底端的连接架和固定板上下运动,从而便于毛刷的清洁与刮刀的刮除。

    一种药物制剂制备用化学原料药输送装置

    公开(公告)号:CN112193865A

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN202011091870.6

    申请日:2020-10-13

    Abstract: 本发明提供了一种药物制剂制备用化学原料药输送装置,该输送装置包括壳体;提升机;固定框设在壳体内壁上,固定框内设有第一漏网;破碎机,设在第一漏网上方;原料药输送控制器,设在壳体内,用于改变第一漏网的孔洞数量,包括第一推拉板,设在壳体内,且第一推拉板的一端设在壳体内壁上;第二推拉板,与第一推拉板沿壳体的中轴线对称设在壳体内,且第二推拉板的一端设在壳体内壁上;两个驱动装置,均相向运动,分别设在第一推拉板和第二推拉板的底部,且各驱动装置通过连接件与第一推拉板抽出端底部或第二推拉板抽出端底部连接,两个驱动装置均通过设在壳体外壁的控制器电连接,本发明能够对原料药的结块进行破碎并能够控制其输送量置。

    含可水解硅氧烷的嵌段共聚物、树脂及其制备方法

    公开(公告)号:CN111574668A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010216297.0

    申请日:2020-03-25

    Abstract: 本发明公开了式(Ⅰ)所示的含可水解硅氧烷的嵌段共聚物及其制备方法,该嵌段共聚物的制备方法是:将苯乙烯和4-乙烯基苯并环丁烯溶于甲苯中,加入N-叔丁基-N-(2-甲基-1-苯丙基)-O-(1-苯乙基)羟胺混合,在惰性气氛下,于90℃~120℃搅拌反应36~60h,经提纯制得无规共聚物;将无规共聚物溶于甲苯中,加热升温至90℃,加入(4-乙烯基苯基)三甲氧基硅烷,于90℃~120℃搅拌反应36~60h,经沉淀提纯,即制得含可水解硅氧烷的嵌段共聚物;进一步提供了硅基有机/无机杂化树脂的制备方法。产物具有优良的机械性能、电学性能及热性能,可用作芯片和线路板的层间介电封装材料。

    水溶、无荧光、近红外吸收的苝酰亚胺染料及其制备方法

    公开(公告)号:CN109369648A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811492331.6

    申请日:2018-12-07

    Abstract: 本发明提供了一种具有水溶、无荧光且近红外吸收特性的苝酰亚胺染料及其制备方法。所述方法包括:将1,7-二溴-3,4,9,10-苝四羧基二酰亚胺合成为湾位含氮杂环结构的苝四羧基二酰亚胺化合物;将所述湾位含氮杂环结构的苝四羧基二酰亚胺化合物合成为具有水溶、无荧光且近红外吸收特性的苝酰亚胺染料。本发明的苝酰亚胺染料由于强烈的推拉电子作用其吸收波长移动到近红外波段;具有良好的水溶性,并能够在水中实现荧光被完全淬灭。本发明的方法反应条件方便且易于实现、产率高。

    含磷氧键结构的湾位有机膦桥联苝酰亚胺及其制备方法

    公开(公告)号:CN107936060A

    公开(公告)日:2018-04-20

    申请号:CN201711362777.2

    申请日:2017-12-18

    CPC classification number: C07F9/6564

    Abstract: 本发明提供了一种含磷氧键结构的湾位有机膦桥联苝酰亚胺及其制备方法。所述苝酰亚胺的结构式为所述制备方法包括将四溴苝四羧酸二酐加入溶剂中,搅拌的同时,加入伯胺类化合物,在惰性气体下加热反应,冷却后除去溶剂,提纯,得到四溴苝酰亚胺化合物,然后溶解后进行无水无氧处理,降温后加入正丁基锂溶液,反应后加入含磷酰二氯化合物,经过溶解,洗涤,干燥,提纯处理,得到含磷氧键结构的湾位有机膦桥联苝酰亚胺。本发明的苝酰亚胺在常规有机溶剂中具有较大的溶解度,制备方法简单,产率高,易于实现。

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