公开(公告)号：CN103261478B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201180059727.1

申请日：2011-10-12

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  保卢斯·威力布罗德斯·乔治·波特 ,  J·A·斯么尔廷克 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  O·S·卡拉克季奥诺夫

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/46

Abstract: 用于在基底的表面上进行原子层沉积的装置，所述装置包括：沉积构件；用于支撑所述基底的基底台；用于供应第一反应物的第一反应物喷嘴；用于供应第二反应物的第二反应物喷嘴；气体喷嘴，所述气体喷嘴布置用于通过由气体喷嘴喷射的气体产生气体阻隔层，并且可选地布置用于产生气体支承层；用于加热由所述气体喷嘴喷射的气体的加热器；以及用于加热所述沉积构件和所述基底台，以及用于加热所述基底的辅助加热器。所述沉积构件具有气体入口，所述气体入口用于由所述气体喷嘴喷射的气体。所述加热器被提供在所述沉积构件的外部。在从所述气体入口输送的气体进入所述气体入口之前，由所述加热器加热所述气体。

公开(公告)号：CN103261478A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180059727.1

申请日：2011-10-12

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  保卢斯·威力布罗德斯·乔治·波特 ,  J·A·斯么尔廷克 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  O·S·卡拉克季奥诺夫

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/46

Abstract: 用于在基底的表面上进行原子层沉积的装置，所述装置包括：沉积构件；用于支撑所述基底的基底台；用于供应第一反应物的第一反应物喷嘴；用于供应第二反应物的第二反应物喷嘴；气体喷嘴，所述气体喷嘴布置用于通过由气体喷嘴喷射的气体产生气体阻隔层，并且可选地布置用于产生气体支承层；用于加热由所述气体喷嘴喷射的气体的加热器；以及用于加热所述沉积构件和所述基底台，以及用于加热所述基底的辅助加热器。所述沉积构件具有气体入口，所述气体入口用于由所述气体喷嘴喷射的气体。所述加热器被提供在所述沉积构件的外部。在从所述气体入口输送的气体进入所述气体入口之前，由所述加热器加热所述气体。

公开(公告)号：CN105102676A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480019869.9

申请日：2014-02-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  丹尼斯·范登贝尔赫 ,  马泰斯·C·范登布尔 ,  弗雷迪·罗泽博姆

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  H01L21/314 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/481 ,  C23C16/545

Abstract: 一种实施原子层沉积的方法。该方法包括使用包括一个或多个气体供应器的沉积头，向基底供应前体气体，且该一个或多个气体供应器包括前体气体供应器。前体气体靠近该基底的表面反应，用以形成原子层。沉积头具有包括气体供应器的输出面，且在沉积原子层时该输出面至少部分地面向该基底表面。输出面大体上为圆形，界定基底的移动路径。前体气体供应器在供应该前体气体时通过旋转该沉积头相对该基底移动，用以在一个方向连续地移动时沉积原子层的叠层。基底的表面利用气体轴承保持不与该输出面接触。

公开(公告)号：CN105102676B

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201480019869.9

申请日：2014-02-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  丹尼斯·范登贝尔赫 ,  马泰斯·C·范登布尔 ,  弗雷迪·罗泽博姆

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  H01L21/314 ,  C23C16/54

Abstract: 一种实施原子层沉积的方法。该方法包括使用包括一个或多个气体供应器的沉积头，向基底供应前体气体，且该一个或多个气体供应器包括前体气体供应器。前体气体靠近该基底的表面反应，用以形成原子层。沉积头具有包括气体供应器的输出面，且在沉积原子层时该输出面至少部分地面向该基底表面。输出面大体上为圆形，界定基底的移动路径。前体气体供应器在供应该前体气体时通过旋转该沉积头相对该基底移动，用以在一个方向连续地移动时沉积原子层的叠层。基底的表面利用气体轴承保持不与该输出面接触。