公开(公告)号：CN103261478A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180059727.1

申请日：2011-10-12

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  保卢斯·威力布罗德斯·乔治·波特 ,  J·A·斯么尔廷克 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  O·S·卡拉克季奥诺夫

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/46

Abstract: 用于在基底的表面上进行原子层沉积的装置，所述装置包括：沉积构件；用于支撑所述基底的基底台；用于供应第一反应物的第一反应物喷嘴；用于供应第二反应物的第二反应物喷嘴；气体喷嘴，所述气体喷嘴布置用于通过由气体喷嘴喷射的气体产生气体阻隔层，并且可选地布置用于产生气体支承层；用于加热由所述气体喷嘴喷射的气体的加热器；以及用于加热所述沉积构件和所述基底台，以及用于加热所述基底的辅助加热器。所述沉积构件具有气体入口，所述气体入口用于由所述气体喷嘴喷射的气体。所述加热器被提供在所述沉积构件的外部。在从所述气体入口输送的气体进入所述气体入口之前，由所述加热器加热所述气体。

公开(公告)号：CN103261478B

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：CN201180059727.1

申请日：2011-10-12

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  保卢斯·威力布罗德斯·乔治·波特 ,  J·A·斯么尔廷克 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  O·S·卡拉克季奥诺夫

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/455 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/46

Abstract: 用于在基底的表面上进行原子层沉积的装置，所述装置包括：沉积构件；用于支撑所述基底的基底台；用于供应第一反应物的第一反应物喷嘴；用于供应第二反应物的第二反应物喷嘴；气体喷嘴，所述气体喷嘴布置用于通过由气体喷嘴喷射的气体产生气体阻隔层，并且可选地布置用于产生气体支承层；用于加热由所述气体喷嘴喷射的气体的加热器；以及用于加热所述沉积构件和所述基底台，以及用于加热所述基底的辅助加热器。所述沉积构件具有气体入口，所述气体入口用于由所述气体喷嘴喷射的气体。所述加热器被提供在所述沉积构件的外部。在从所述气体入口输送的气体进入所述气体入口之前，由所述加热器加热所述气体。