公开(公告)号：CN105102676A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480019869.9

申请日：2014-02-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  丹尼斯·范登贝尔赫 ,  马泰斯·C·范登布尔 ,  弗雷迪·罗泽博姆

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  H01L21/314 ,  C23C16/54

CPC classification number: C23C16/45544 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/481 ,  C23C16/545

Abstract: 一种实施原子层沉积的方法。该方法包括使用包括一个或多个气体供应器的沉积头，向基底供应前体气体，且该一个或多个气体供应器包括前体气体供应器。前体气体靠近该基底的表面反应，用以形成原子层。沉积头具有包括气体供应器的输出面，且在沉积原子层时该输出面至少部分地面向该基底表面。输出面大体上为圆形，界定基底的移动路径。前体气体供应器在供应该前体气体时通过旋转该沉积头相对该基底移动，用以在一个方向连续地移动时沉积原子层的叠层。基底的表面利用气体轴承保持不与该输出面接触。

公开(公告)号：CN105102676B

公开(公告)日：2021-06-08

申请号：CN201480019869.9

申请日：2014-02-06

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 雷蒙德·雅各布斯·W·克纳彭 ,  R·奥利斯拉格斯 ,  丹尼斯·范登贝尔赫 ,  马泰斯·C·范登布尔 ,  弗雷迪·罗泽博姆

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  H01L21/314 ,  C23C16/54

Abstract: 一种实施原子层沉积的方法。该方法包括使用包括一个或多个气体供应器的沉积头，向基底供应前体气体，且该一个或多个气体供应器包括前体气体供应器。前体气体靠近该基底的表面反应，用以形成原子层。沉积头具有包括气体供应器的输出面，且在沉积原子层时该输出面至少部分地面向该基底表面。输出面大体上为圆形，界定基底的移动路径。前体气体供应器在供应该前体气体时通过旋转该沉积头相对该基底移动，用以在一个方向连续地移动时沉积原子层的叠层。基底的表面利用气体轴承保持不与该输出面接触。