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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119812057A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510007660.0
申请日：2025-01-03
Applicant: 苏州大学 , 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本申请涉及一种基板处理设备，包括腔室具有第一空间与第二空间；第一转运装置位于第一空间内，并被配置将基板在第一空间和第二空间之间转移；清洗装置位于第二空间内，并被配置用于对基板进行清洗；检测装置位于第二空间内，并被配置用于检测清洗后的基板的颗粒数；气流供应装置位于第一空间与第二空间的上方，并用于提供自上而下的清洁气流；其中，第一空间包括相互连通的上部空间与下部空间，第二空间位于第一空间的一侧，且位于第一空间的下部空间的上方。该基板处理设备能够使得清洗后的基板在洁净度较高的第一空间的上部空间进行转运，大大降低清洗后的基板被污染的情况出现，进一步提高基板的检测准确性。
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公开(公告)号：CN116759375A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202311048393.9
申请日：2023-08-21
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/02 , B08B1/00
Abstract: 本申请涉及一种离心式方形晶圆夹持装置、夹持方法以及清洗方法，其中夹持装置包括：固定盘；旋转驱动件，与固定盘连接，用于带动固定盘转动；夹持组件，共有4个，4个夹持组件分别安装在固定盘上的一个矩形空间的四个角上；夹持组件包括：主体、定位支撑块和摆锤。夹持方法以及清洗方法均利用了该夹持装置。本发明利用固定盘转动时摆锤下半部分离心力较大的原理，使方形晶圆能够更加轻易的夹紧，同时定位支撑块又起到辅助定位、防止低速转动时晶圆偏离等作用，提供了一种适合夹持方形晶圆的装置、夹持方法以及清洗方法。
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公开(公告)号：CN116759375B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202311048393.9
申请日：2023-08-21
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/02 , B08B1/00
Abstract: 本申请涉及一种离心式方形晶圆夹持装置、夹持方法以及清洗方法，其中夹持装置包括：固定盘；旋转驱动件，与固定盘连接，用于带动固定盘转动；夹持组件，共有4个，4个夹持组件分别安装在固定盘上的一个矩形空间的四个角上；夹持组件包括：主体、定位支撑块和摆锤。夹持方法以及清洗方法均利用了该夹持装置。本发明利用固定盘转动时摆锤下半部分离心力较大的原理，使方形晶圆能够更加轻易的夹紧，同时定位支撑块又起到辅助定位、防止低速转动时晶圆偏离等作用，提供了一种适合夹持方形晶圆的装置、夹持方法以及清洗方法。
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公开(公告)号：CN217726445U
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202222586596.0
申请日：2022-09-29
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开一种晶圆刷洗装置，包括支撑臂、刷盘组件和与支撑臂连接的液压旋转器，刷盘组件包括含有出口的流出通道，液压旋转器包括流体腔室、上连接部和旋转组件，流体腔室与上连接部固定连接或一体成型，旋转组件设置在流体腔室内，流体腔室的内部设有容纳腔；支撑臂的内部设置有第一流体通道，上连接部的内部设置有连接通道，上连接部开设有多个通液孔，流体可依次流经第一流体通道及连接通道后进入容纳腔，再从流出通道并经出口喷出，旋转组件用于在流体从连接通道进入容纳腔时旋转并带动刷盘组件旋转。本实用新型无需额外设置固定喷嘴、带动刷盘部分旋转的旋转电机，整体结构简单。
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公开(公告)号：CN307624353S
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202230635379.9
申请日：2022-09-26
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动单片清洗机（8腔）。
2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆进行清洗。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.左视图中“A、B、C、D、E、F、G、H、I”处为透明材质，右视图中“J、K、L、M、N、O、P、Q、R”处为透明材质。
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