公开(公告)号：CN106783553B

公开(公告)日：2023-03-17

申请号：CN201710104757.9

申请日：2017-02-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 曹冰 ,  赵恩 ,  漆林 ,  李宗尧 ,  杨松 ,  王钦华

IPC: H01L21/02

Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/介质材料为复合衬底的三族氮化物微米柱结构及制备方法。石墨烯由低温固态碳源法在非蓝宝石介质材料上直接制备，得到复合衬底，再在复合衬底的石墨烯上生长出三族氮化物微米柱，得到一种石墨烯/介质材料为复合衬底的三族氮化物微米柱结构。本发明技术方案解决了在某些介质材料上三族氮化物无法成核生长的难题，拓宽了三族氮化物外延用介质衬底的范围。尤其是使用石墨烯/石英复合衬底外延三族氮化物，可以有效降低外延成本。本发明流程简单易行，原材料价廉易得，适合规模化生产。

公开(公告)号：CN106783553A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201710104757.9

申请日：2017-02-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 曹冰 ,  赵恩 ,  漆林 ,  李宗尧 ,  杨松 ,  王钦华

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/0242 ,  H01L21/02444 ,  H01L21/02499 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/0259 ,  H01L21/0262

Abstract: 本发明公开了一种石墨烯/介质材料为复合衬底的三族氮化物微米柱结构及制备方法。石墨烯由低温固态碳源法在非蓝宝石介质材料上直接制备，得到复合衬底，再在复合衬底的石墨烯上生长出三族氮化物微米柱，得到一种石墨烯/介质材料为复合衬底的三族氮化物微米柱结构。本发明技术方案解决了在某些介质材料上三族氮化物无法成核生长的难题，拓宽了三族氮化物外延用介质衬底的范围。尤其是使用石墨烯/石英复合衬底外延三族氮化物，可以有效降低外延成本。本发明流程简单易行，原材料价廉易得，适合规模化生产。

公开(公告)号：CN206532753U

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201720172528.6

申请日：2017-02-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 邱振宇 ,  鲁文超 ,  赵恩 ,  漆林 ,  李宗尧 ,  杨松 ,  曹冰 ,  王钦华

IPC: H01L21/02

Abstract: 本实用新型公开了一种复合衬底/三族氮化物微米柱结构。以在介质材料上生长石墨烯插入层为复合衬底，在石墨烯插入层上生长三族氮化物微米柱。本实用新型中，石墨烯由低温固态碳源法在非蓝宝石介质材料上直接制备，在复合衬底上再生长得到三族氮化物微米柱，解决了在某些介质材料上三族氮化物无法成核生长的难题，拓宽了三族氮化物外延用介质衬底的范围。尤其是使用石墨烯/石英复合衬底外延制备三族氮化物微米柱结构，可有效降低生产成本。