公开(公告)号：CN119355986A

公开(公告)日：2025-01-24

申请号：CN202411324731.1

申请日：2024-09-23

Applicant: 苏州大学

Inventor： 张东钰 ,  胡鑫 ,  王钦华 ,  孙倜 ,  周灵彤

IPC: G02F1/01 ,  G02F1/00 ,  C23C14/30 ,  C23C14/34 ,  C23C14/06 ,  C23C14/10 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明公开了一种基于透明微加热器的相变材料电光调制器及其制作方法，器件包括底层、支撑层、电极层和相变层，其中衬底层中间区域悬空，电极层包括中间区域的透明电极层和两侧设有的金属电极层，相变层覆盖在透明电极层的上方空间，设有若干相变材料纳米盘，每个相变材料纳米盘上方设有金属帽。本发明的器件通过外部电源对两侧的金属电极层输入电压，使透明电极层通电产生焦耳热，驱动上方空间的相变层相变，使其光学介电常数发生显著变化，从而实现对中红外波段的透射光动态调控。