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公开(公告)号：CN116926484A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310979383.0
申请日：2023-08-05
申请人： 苏州六九新材料科技有限公司 , 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请涉及溅射靶材加工技术领域，具体公开了一种锆钇铬合金溅射靶材的加工工艺。加工工艺包括如下步骤：将72.5‑79重量份的锆块、16‑22重量份的钇块、2.5‑7.5重量份的铬块混合，获得混合料；在惰性气体保护、电磁搅拌下，将混合料升温熔融，获得金属混合液；将金属混合液于锭模中浇注，脱锭模，降温至室温，获得合金锭；将合金锭进行热处理，获得锆钇铬合金溅射靶材。该加工工艺获得的锆钇铬合金溅射靶材，平均晶粒粒度＜50μm、钇加工损失率＜5%，确保锆钇铬合金溅射靶材中钇含量，降低钇资源浪费，而且锆钇铬合金溅射靶材具有高致密度、无气孔、无偏析、无裂纹、组织均匀、易于加工的优点，满足市场需求。
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公开(公告)号：CN116926484B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202310979383.0
申请日：2023-08-05
申请人： 苏州六九新材料科技有限公司 , 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请涉及溅射靶材加工技术领域，具体公开了一种锆钇铬合金溅射靶材的加工工艺。加工工艺包括如下步骤：将72.5‑79重量份的锆块、16‑22重量份的钇块、2.5‑7.5重量份的铬块混合，获得混合料；在惰性气体保护、电磁搅拌下，将混合料升温熔融，获得金属混合液；将金属混合液于锭模中浇注，脱锭模，降温至室温，获得合金锭；将合金锭进行热处理，获得锆钇铬合金溅射靶材。该加工工艺获得的锆钇铬合金溅射靶材，平均晶粒粒度＜50μm、钇加工损失率＜5%，确保锆钇铬合金溅射靶材中钇含量，降低钇资源浪费，而且锆钇铬合金溅射靶材具有高致密度、无气孔、无偏析、无裂纹、组织均匀、易于加工的
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公开(公告)号：CN114481053A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210090033.4
申请日：2022-01-25
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种镁锌铝镍钒合金靶材及其制备方法，合金靶材按原子百分比由以下成分组成：镁锌30‑60％，铝10‑40％、镍10‑40％、钒10‑40％，其中，镁锌中镁和锌的原子百分比为1:1；制备方法包括金属粉末的制备、预压处理和热压处理，得到镁锌铝镍钒合金靶材；其中，金属粉末的制备中，将镁锌源、铝源、镍源和钒源进行混料，得到金属粉末；采用镁锌合金代替常规镁源和锌源，确保生产安全。本发明制备得到的镁锌铝镍钒高熵合金靶材包括Al相、MgZn相、Ni相和V相，具有致密度高、合金化程度适当，无气孔和偏析，无裂纹，加工性能良好，组织均匀等优点，相对密度超过99％。
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公开(公告)号：CN113981388B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202111241924.7
申请日：2021-10-25
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请涉及粉末冶金技术领域，具体公开了一种高致密度TiAl及TiAlMe靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、将海绵钛和铝块混合后熔炼得到TiAl合金铸锭；S2、将TiAl合金铸锭破碎成一定粒度的TiAl合金粉；S3、将TiAl合金粉与Ti粉或TiAl合金粉、Ti粉与Me粉按照比例称量后混合均匀分别制得TiAl粉末或TiAlMe粉末；S4、将制得的TiAl粉末或TiAlMe粉末模压成型制得冷压坯；S5、将上述预成型冷压坯进行脱气处理后，采用热等静压成型，制得坯料；S6、将热等静压后的坯料进行加工后，得到所需要的靶材产品。本申请的制备方法具有降低高Ti低Al靶材的成型难度的优点。
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公开(公告)号：CN114262873A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111671890.5
申请日：2021-12-31
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法，所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成：Si 1‑30％；Me 0‑10％，余量为Cr；其中，Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi2合金粉、Cr粉，或者选择CrSi2合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材；制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高，晶粒尺寸均匀，且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大，易开裂、难加工的问题。
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公开(公告)号：CN113996787B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202111292639.8
申请日：2021-11-03
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请具体公开了一种钛基合金的溅射靶材的制备方法。包括以下步骤：S1混合，在保护气氛下，将原料混合得到混合粉末；S2冷压成型，将混合粉末加入到冷压模具中，压制成冷压坯，所述冷压坯的致密度为40‑87%；S3脱气，将冷压坯转移到热等静压模具中，脱气；S4热等静压烧结，脱气后的冷压坯在热等静压模具中进行热等静压烧结处理。本申请的制备方法具有材料利用率高、靶材生产成本低等优点。
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公开(公告)号：CN113996787A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111292639.8
申请日：2021-11-03
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请具体公开了一种钛基合金的溅射靶材的制备方法。包括以下步骤：S1混合，在保护气氛下，将原料混合得到混合粉末；S2冷压成型，将混合粉末加入到冷压模具中，压制成冷压坯，所述冷压坯的致密度为40‑87%；S3脱气，将冷压坯转移到热等静压模具中，脱气；S4热等静压烧结，脱气后的冷压坯在热等静压模具中进行热等静压烧结处理。本申请的制备方法具有材料利用率高、靶材生产成本低等优点。
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公开(公告)号：CN111136265A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN202010154164.5
申请日：2020-03-07
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种钛硅合金靶材及制造方法，属于合金靶材制备领域。该方法包括：合金粉末制备步骤，将钛源和硅源混料制成合金粉末；冷等静压步骤，对所述合金粉末进行冷等静压处理，得到压坯；脱气步骤，对所述压坯进行脱气处理；热等静压步骤，对所述脱气处理后的压坯进行热等静压处理，得到钛硅合金靶材。钛硅合金靶材具有致密度高、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小等优点，相对密度超过99％，平均晶粒尺寸不大于100μm。
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公开(公告)号：CN113981389B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202111242414.1
申请日：2021-10-25
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请涉及靶材制备的技术领域，具体公开了一种复合靶材及其制造方法，一种复合靶材的制造方法，所述复合靶材包括基体靶层和复合层，复合靶材包括以下制备步骤：S1：制备基体靶层粉末和复合层粉末；S2：基体靶层粉末和复合层粉末分层填充到模具中，在真空条件下进行热压烧结处理，经冷却后，脱模得到烧结致密的圧坯；S3：将致密化压坯通过轧制变形，得到大尺寸板坯；S4、将步骤S3得到轧制板坯进行机加工，得到符合尺寸和表面质量的复合靶材。一种复合靶材，所述复合靶材的复合层热导率不小于150W/（m.K），抗拉强度不小于90MPa，断后伸长率不小于2%。本申请具有提高靶材与复合层结合紧密性的效果。
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公开(公告)号：CN114000113B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202111242398.6
申请日：2021-10-25
申请人： 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
摘要： 本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种多元合金靶材及其制备方法。一种多元合金靶材，由以下原子百分比的元素组成，镍20‑35%、钒20‑25%、钼20‑25%、钨20‑35%。其制备方法：首先将钼粉与镍粉混料制备成MoNi合金粉末，再将MoNi合金粉末与其他粉末进行混料，最后进行HIP烧结和机加工。本申请制备的靶材具有致密度高，可达99%以上、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀等优点。另外，本申请的制备方法能够使熔点不同的元素进行HIP烧结，并且能保证熔点不同的元素在靶材中所占比例达到要求。
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