本申请涉及溅射靶材加工技术领域，具体公开了一种锆钇铬合金溅射靶材的加工工艺。加工工艺包括如下步骤：将72.5‑79重量份的锆块、16‑22重量份的钇块、2.5‑7.5重量份的铬块混合，获得混合料；在惰性气体保护、电磁搅拌下，将混合料升温熔融，获得金属混合液；将金属混合液于锭模中浇注，脱锭模，降温至室温，获得合金锭；将合金锭进行热处理，获得锆钇铬合金溅射靶材。该加工工艺获得的锆钇铬合金溅射靶材，平均晶粒粒度＜50μm、钇加工损失率＜5%，确保锆钇铬合金溅射靶材中钇含量，降低钇资源浪费，而且锆钇铬合金溅射靶材具有高致密度、无气孔、无偏析、无裂纹、组织均匀、易于加工的