Invention Publication
- Patent Title: 一种钛基合金的溅射靶材的制备方法
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Application No.: CN202111292639.8Application Date: 2021-11-03
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Publication No.: CN113996787APublication Date: 2022-02-01
- Inventor: 张凤戈 , 岳万祥 , 魏铁峰 , 张欠男 , 张学华 , 李建奎
- Applicant: 北京安泰六九新材料科技有限公司 , 涿州安泰六九新材料科技有限公司
- Applicant Address: 北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室;
- Assignee: 北京安泰六九新材料科技有限公司,涿州安泰六九新材料科技有限公司
- Current Assignee: 北京安泰六九新材料科技有限公司,涿州安泰六九新材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 北京市海淀区学院南路76号17幢一层101室;
- Priority: 2021112498732 20211026 CN
- Main IPC: B22F3/15
- IPC: B22F3/15 ; B22F3/02 ; B22F3/03 ; C23C14/34 ; C22C14/00 ; C22C1/04
Abstract:
本申请具体公开了一种钛基合金的溅射靶材的制备方法。包括以下步骤：S1混合，在保护气氛下，将原料混合得到混合粉末；S2冷压成型，将混合粉末加入到冷压模具中，压制成冷压坯，所述冷压坯的致密度为40‑87%；S3脱气，将冷压坯转移到热等静压模具中，脱气；S4热等静压烧结，脱气后的冷压坯在热等静压模具中进行热等静压烧结处理。本申请的制备方法具有材料利用率高、靶材生产成本低等优点。
Public/Granted literature
- CN113996787B 一种钛基合金的溅射靶材的制备方法 Public/Granted day:2023-04-07
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