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公开(公告)号：CN103945986B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201280055989.5
申请日：2012-11-15
IPC: B24B55/12 , B24B27/06 , B24B37/00 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M133/04 , C10M173/02 , C10M175/04 , H01L21/304 , C10N20/00 , C10N30/00 , C10N40/22
CPC classification number: B28D5/0076 , C10M173/02 , C10M175/04 , C10M2209/104 , C10M2209/105 , C10M2209/106 , C10M2215/04
Abstract: 一种使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物(以下，简称为“切削液组合物”。)的处理方法，其中，使用前的切削液组合物含有特定的聚醚化合物(成分A)25～75重量％、特定的表面活性剂(成分B)1～9重量％、和水(成分C)，切削液组合物的浊点为30～80℃，从排油液中至少除去切削粉末的粉末除去工序包括：第一工序，将排油液加热至切削液组合物的浊点以上的温度，分离成以聚醚化合物为主要成分的上层、及以水和切削粉末为主要成分的下层；以及第二工序，从分离后的所述排油液中除去下层。
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公开(公告)号：CN103945986A
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201280055989.5
申请日：2012-11-15
IPC: B24B55/12 , B24B27/06 , B24B37/00 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M133/04 , C10M173/02 , C10M175/04 , H01L21/304 , C10N20/00 , C10N30/00 , C10N40/22
CPC classification number: B28D5/0076 , C10M173/02 , C10M175/04 , C10M2209/104 , C10M2209/105 , C10M2209/106 , C10M2215/04
Abstract: 一种使用过的固定磨料钢丝锯用切削液组合物(以下，简称为“切削液组合物”。)的处理方法，其中，使用前的切削液组合物含有特定的聚醚化合物(成分A)25～75重量％、特定的表面活性剂(成分B)1～9重量％、和水(成分C)，切削液组合物的浊点为30～80℃，从排油液中至少除去切削粉末的粉末除去工序包括：第一工序，将排油液加热至切削液组合物的浊点以上的温度，分离成以聚醚化合物为主要成分的上层、及以水和切削粉末为主要成分的下层；以及第二工序，从分离后的所述排油液中除去下层。
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公开(公告)号：CN105121614A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480020233.6
申请日：2014-03-26
Applicant: 帕莱斯化学株式会社
IPC: C10M173/02 , B23D61/18 , B24B27/06 , B28D5/04 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M129/08 , C10M129/16 , C10M133/04 , C10M135/36 , C10M145/26 , H01L21/304 , C10N30/00 , C10N30/18 , C10N40/22
Abstract: 本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示的(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物。又，一种铸锭的切削方法及由上述切削方法所得的电子材料用基板，上述铸锭的切削方法，是使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板的晶圆。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105121614B
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201480020233.6
申请日：2014-03-26
Applicant: 帕莱斯化学株式会社
IPC: C10M173/02 , B23D61/18 , B24B27/06 , B28D5/04 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M129/08 , C10M129/16 , C10M133/04 , C10M135/36 , C10M145/26 , H01L21/304 , C10N30/00 , C10N30/18 , C10N40/22
Abstract: 本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示的(a)2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇的伸烷基加成物。又，一种铸锭的切削方法及由上述切削方法所得的电子材料用基板，上述铸锭的切削方法，是使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板的晶圆。
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公开(公告)号：CN103597585B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201280029282.7
申请日：2012-09-07
Applicant: 帕莱斯化学株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B27/06 , B28D5/02 , B28D7/02 , C09K3/14
CPC classification number: B24B27/0633 , B24B57/02 , B28D5/0076
Abstract: 本发明提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。本发明提供的一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glyco1)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。本发明提供的一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及本发明还提供一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法。
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公开(公告)号：CN103597585A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201280029282.7
申请日：2012-09-07
Applicant: 帕莱斯化学株式会社
IPC: H01L21/304 , B24B27/06 , B28D5/02 , B28D7/02 , C09K3/14
CPC classification number: B24B27/0633 , B24B57/02 , B28D5/0076
Abstract: 本发明提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。本发明提供的一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glyco1)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。本发明提供的一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及本发明还提供一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法。
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公开(公告)号：CN102686713B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201080051078.6
申请日：2010-11-05
Applicant: 帕莱斯化学株式会社
IPC: C10M169/06 , B24B27/06 , C10M105/14 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M129/08 , C10M129/16 , C10M145/26 , C10M173/00 , C10N30/00 , C10N30/18 , C10N40/22 , C10N40/32
CPC classification number: C10M175/0058 , B24B27/0633 , C10M173/00 , C10M2207/022 , C10M2207/046 , C10M2209/104 , C10M2209/109 , C10N2220/021 , C10N2230/02 , C10N2230/18 , C10N2240/401 , C10M2209/105 , C10M2209/108 , C10M2209/106
Abstract: 本发明提供了一种切割性能高，可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。该固定研磨粒线锯用水溶性切割液的特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100～300的低分子量二醇醚的至少1种、以及(c)水，(a)与(b)之比为1∶99～50∶50，(c)的含量为5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1？(1)，其中，R1表示氢原子或碳数为1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene？group)，AO表示碳数为3～4的氧伸烷基(oxyalkylene？group)，m及n分别表示1～20的加成摩尔数。
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公开(公告)号：CN102686713A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201080051078.6
申请日：2010-11-05
Applicant: 帕莱斯化学株式会社
IPC: C10M169/06 , B24B27/06 , C10M105/14 , C10M105/18 , C10M107/34 , C10M129/08 , C10M129/16 , C10M145/26 , C10M173/00 , C10N30/00 , C10N30/18 , C10N40/22 , C10N40/32
CPC classification number: C10M175/0058 , B24B27/0633 , C10M173/00 , C10M2207/022 , C10M2207/046 , C10M2209/104 , C10M2209/109 , C10N2220/021 , C10N2230/02 , C10N2230/18 , C10N2240/401 , C10M2209/105 , C10M2209/108 , C10M2209/106
Abstract: 本发明提供了一种切割性能高，可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。该固定研磨粒线锯用水溶性切割液的特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100～300的低分子量二醇醚的至少1种、以及(c)水，(a)与(b)之比为1∶99～50∶50，(c)的含量为5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1(1)其中，R1表示氢原子或碳数为1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene group)，AO表示碳数为3～4的氧伸烷基(oxyalkylene group)，m及n分别表示1～20的加成摩尔数。
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