公开(公告)号：CN102686713A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201080051078.6

申请日：2010-11-05

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 吉田种二郎 ,  铃木清史

IPC: C10M169/06 ,  B24B27/06 ,  C10M105/14 ,  C10M105/18 ,  C10M107/34 ,  C10M129/08 ,  C10M129/16 ,  C10M145/26 ,  C10M173/00 ,  C10N30/00 ,  C10N30/18 ,  C10N40/22 ,  C10N40/32

CPC classification number: C10M175/0058 ,  B24B27/0633 ,  C10M173/00 ,  C10M2207/022 ,  C10M2207/046 ,  C10M2209/104 ,  C10M2209/109 ,  C10N2220/021 ,  C10N2230/02 ,  C10N2230/18 ,  C10N2240/401 ,  C10M2209/105 ,  C10M2209/108 ,  C10M2209/106

Abstract: 本发明提供了一种切割性能高，可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。该固定研磨粒线锯用水溶性切割液的特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100～300的低分子量二醇醚的至少1种、以及(c)水，(a)与(b)之比为1∶99～50∶50，(c)的含量为5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1(1)其中，R1表示氢原子或碳数为1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene group)，AO表示碳数为3～4的氧伸烷基(oxyalkylene group)，m及n分别表示1～20的加成摩尔数。

公开(公告)号：CN102686713B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201080051078.6

申请日：2010-11-05

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 吉田种二郎 ,  铃木清史

IPC: C10M169/06 ,  B24B27/06 ,  C10M105/14 ,  C10M105/18 ,  C10M107/34 ,  C10M129/08 ,  C10M129/16 ,  C10M145/26 ,  C10M173/00 ,  C10N30/00 ,  C10N30/18 ,  C10N40/22 ,  C10N40/32

CPC classification number: C10M175/0058 ,  B24B27/0633 ,  C10M173/00 ,  C10M2207/022 ,  C10M2207/046 ,  C10M2209/104 ,  C10M2209/109 ,  C10N2220/021 ,  C10N2230/02 ,  C10N2230/18 ,  C10N2240/401 ,  C10M2209/105 ,  C10M2209/108 ,  C10M2209/106

Abstract: 本发明提供了一种切割性能高，可抑制因硅与水反应而产生氢气的固定研磨粒线锯用水溶性切割液、使用其的铸锭切割方法、其回收方法及切割所得的晶圆。该固定研磨粒线锯用水溶性切割液的特征在于：含有(a)式(1)所示的聚醚、(b)二醇(glycol)及分子量为100～300的低分子量二醇醚的至少1种、以及(c)水，(a)与(b)之比为1∶99～50∶50，(c)的含量为5～50重量％；C4H9O(EO)m(AO)nR1？(1)，其中，R1表示氢原子或碳数为1～8的烷基或烯基，EO表示氧伸乙基(oxyethylene？group)，AO表示碳数为3～4的氧伸烷基(oxyalkylene？group)，m及n分别表示1～20的加成摩尔数。