公开(公告)号：CN105121614A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201480020233.6

申请日：2014-03-26

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 铃木清史 ,  高梨慎也

IPC: C10M173/02 ,  B23D61/18 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  C10M105/18 ,  C10M107/34 ,  C10M129/08 ,  C10M129/16 ,  C10M133/04 ,  C10M135/36 ,  C10M145/26 ,  H01L21/304 ,  C10N30/00 ,  C10N30/18 ,  C10N40/22

Abstract: 本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示的(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物。又，一种铸锭的切削方法及由上述切削方法所得的电子材料用基板，上述铸锭的切削方法，是使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板的晶圆。

公开(公告)号：CN110382655B

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201880008771.1

申请日：2018-01-24

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 高梨慎也 ,  会田圭佑 ,  高桥桂

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C10M173/02 ,  H01L21/304 ,  C10M129/32 ,  C10M129/52 ,  C10M133/08 ,  C10N40/22

Abstract: 本发明提供一种兼具防锈性能及防止金属污染性能的加工介质、加工组合物及加工方法。本发明的加工介质含有或在已中和的状态下含有碳数为2以上且7以下的多元羧酸、芳香族单羧酸及碱性物质。

公开(公告)号：CN105121614B

公开(公告)日：2020-04-17

申请号：CN201480020233.6

申请日：2014-03-26

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 铃木清史 ,  高梨慎也

IPC: C10M173/02 ,  B23D61/18 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  C10M105/18 ,  C10M107/34 ,  C10M129/08 ,  C10M129/16 ,  C10M133/04 ,  C10M135/36 ,  C10M145/26 ,  H01L21/304 ,  C10N30/00 ,  C10N30/18 ,  C10N40/22

Abstract: 本发明提供一种起泡少、切削性能高的固定研磨粒线锯用水溶性切削液、使用其的铸锭的切削方法及由其所得的电子材料用基板。一种固定研磨粒线锯用水溶性切削液，其含有化学式(1)表示的(a)2,4,7,9‑四甲基‑5‑癸炔‑4,7‑二醇的伸烷基加成物。又，一种铸锭的切削方法及由上述切削方法所得的电子材料用基板，上述铸锭的切削方法，是使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切削液，通过固定研磨粒线锯切削铸锭而获得作为电子材料基板的晶圆。

公开(公告)号：CN110382655A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880008771.1

申请日：2018-01-24

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 高梨慎也 ,  会田圭佑 ,  高桥桂

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C10M173/02 ,  H01L21/304 ,  C10M129/32 ,  C10M129/52 ,  C10M133/08 ,  C10N40/22

Abstract: 本发明提供一种兼具防锈性能及防止金属污染性能的加工介质、加工组合物及加工方法。本发明的加工介质含有或在已中和的状态下含有碳数为2以上且7以下的多元羧酸、芳香族单羧酸及碱性物质。