公开(公告)号：CN110382655B

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201880008771.1

申请日：2018-01-24

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 高梨慎也 ,  会田圭佑 ,  高桥桂

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C10M173/02 ,  H01L21/304 ,  C10M129/32 ,  C10M129/52 ,  C10M133/08 ,  C10N40/22

Abstract: 本发明提供一种兼具防锈性能及防止金属污染性能的加工介质、加工组合物及加工方法。本发明的加工介质含有或在已中和的状态下含有碳数为2以上且7以下的多元羧酸、芳香族单羧酸及碱性物质。

公开(公告)号：CN110382655A

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201880008771.1

申请日：2018-01-24

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 高梨慎也 ,  会田圭佑 ,  高桥桂

IPC: C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  C09G1/02 ,  C10M173/02 ,  H01L21/304 ,  C10M129/32 ,  C10M129/52 ,  C10M133/08 ,  C10N40/22

Abstract: 本发明提供一种兼具防锈性能及防止金属污染性能的加工介质、加工组合物及加工方法。本发明的加工介质含有或在已中和的状态下含有碳数为2以上且7以下的多元羧酸、芳香族单羧酸及碱性物质。