公开(公告)号：CN103597585B

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201280029282.7

申请日：2012-09-07

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 铃木清史 ,  户嵨清斗

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/02 ,  B28D7/02 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24B27/0633 ,  B24B57/02 ,  B28D5/0076

Abstract: 本发明提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。本发明提供的一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glyco1)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。本发明提供的一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及本发明还提供一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法。

公开(公告)号：CN103597585A

公开(公告)日：2014-02-19

申请号：CN201280029282.7

申请日：2012-09-07

Applicant: 帕莱斯化学株式会社

Inventor： 铃木清史 ,  户嵨清斗

IPC: H01L21/304 ,  B24B27/06 ,  B28D5/02 ,  B28D7/02 ,  C09K3/14

CPC classification number: B24B27/0633 ,  B24B57/02 ,  B28D5/0076

Abstract: 本发明提供一种起泡少且切割性能较高的固定研磨粒线锯(fixed abrasive grain wire saw)用水溶性切割液、使用其的切割方法及其回收方法。本发明提供的一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液，其特征在于含有：(a)萜烯环氧烷(terpene alkylene oxide)嵌段共聚物；(b)二醇(glyco1)、聚烷二醇(polyalkylene glycol)、二醇醚及聚烷二醇醚中的至少1种；及(c)水。本发明提供的一种锭的切割方法，其特征在于：使用上述固定研磨粒线锯用水溶性切割液，通过固定研磨粒线锯切割硅锭；及本发明还提供一种固定研磨粒线锯用水溶性切割液的回收方法。