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发明公开
基板检测装置及基板处理装置无效

公开(公告)号：CN110620062A

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201910514154.5

申请日：2019-06-14

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 西部幸伸 , 矶明典 , 福喜多信孝

IPC: H01L21/67 , G01B7/14 , G01V3/08

Abstract: 提供一种能够使基板品质提高的基板检测装置及基板处理装置。有关实施方式的基板检测装置(40)具备：基部(41)；摆动部件(42)，以摆动支点轴(42a)为中心摆动自如地安装于基部(41)；检测辊(43)，设置在摆动部件(42)的一端部，与被输送来的基板碰抵而被推下；以及检测传感器(45)，如果检测辊(43)碰抵在基板上而被推下、并以摆动支点轴(42a)为中心移动，则输出表示检测到基板的检测信号；摆动支点轴(42a)与基板输送方向(A1)平行。

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