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公开(公告)号:CN102741674A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201180005861.3
申请日:2011-01-10
Applicant: 艾尔默斯半导体股份公司
Inventor: 贝恩德·伯查德
CPC classification number: B81C1/00158 , B81B3/0018 , B81B3/0021 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B3/0081 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00626 , B81C99/0035 , B81C2201/019 , G01L9/0047 , H01L29/4916 , H01L29/84
Abstract: 一种微机电半导体器件,具有:第一半导体衬底(1),其具有上侧;以及第二半导体衬底(5),其具有上侧。两个半导体衬底(1,5)在其上侧上靠置地接合。空腔(4)引入所述两个半导体衬底(1,5)的至少之一的上侧中。空腔(4)通过由两个半导体衬底(1,5)形成的对置的顶壁和底部壁以及侧壁(3)来限定。顶壁或者底部壁作为能够可逆地变形的膜来起作用,并且在空腔(4)的这两个壁的另外的壁中设置有通过有关的半导体衬底(1,5)延伸的开口(98)。
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公开(公告)号:CN109871345A
公开(公告)日:2019-06-11
申请号:CN201811126141.2
申请日:2018-09-26
Applicant: 艾尔默斯半导体股份公司
IPC: G06F13/42
Abstract: 本发明涉及一种总线节点,其能够实施根据本发明的用于把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法。用于把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法借助于在数据总线系统的各个总线节点(SL1、SL2、SL3)中的总线分流电阻(R2)在分配时段内实施。在实施用来在分配时段内把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法之后,紧接着是运行时段。总线节点具有这种总线分流电阻(R2)。该总线节点的特征在于,它具有总线分流跨接开关(S4),该总线分流跨接开关在把总线地址于分配时段内分配给总线节点之前断开,该总线分流跨接开关在把总线地址于分配时段内分配给总线节点之后闭合,该总线分流跨接开关在运行时段内闭合。
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公开(公告)号:CN109862128A
公开(公告)日:2019-06-07
申请号:CN201811126184.0
申请日:2018-09-26
Applicant: 艾尔默斯半导体股份公司
IPC: H04L29/12 , H04L12/40 , H04L12/403 , G06F13/14 , G06F13/38
Abstract: 一种本发明涉及一种总线节点,其能够实施根据本发明的用于把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法。用于把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法借助于在数据总线系统的各个总线节点(SL1、SL2、SL3)中的总线分流电阻(R2)在分配时段内实施。在实施用来在分配时段内把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法之后,紧接着是运行时段。总线节点具有这种总线分流电阻(R2)。该总线节点的特征在于,它具有总线分流跨接开关(S4),该总线分流跨接开关在把总线地址于分配时段内分配给总线节点之前断开,该总线分流跨接开关在把总线地址于分配时段内分配给总线节点之后闭合,该总线分流跨接开关在运行时段内闭合。
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公开(公告)号:CN109618013A
公开(公告)日:2019-04-12
申请号:CN201811126287.7
申请日:2018-09-26
Applicant: 艾尔默斯半导体股份公司
CPC classification number: G06F13/4282 , G06F13/4247 , H04L12/10 , H04L12/40019 , H04L12/40078 , H04L12/4013 , H04L12/403 , H04L61/2038 , H04L2012/40234 , H04L12/40045 , H04L2012/40215 , H04L2012/40273
Abstract: 本发明涉及一种总线节点,其能够实施根据本发明的用于把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法。用于把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法借助于在数据总线系统的各个总线节点(SL1、SL2、SL3)中的总线分流电阻(R2)在分配时段内实施。在实施用来在分配时段内把总线地址分配给串行数据总线系统的总线节点的方法之后,紧接着是运行时段。总线节点具有这种总线分流电阻(R2)。该总线节点的特征在于,它具有总线分流跨接开关(S4),该总线分流跨接开关在把总线地址于分配时段内分配给总线节点之前断开,该总线分流跨接开关在把总线地址于分配时段内分配给总线节点之后闭合,该总线分流跨接开关在运行时段内闭合。
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公开(公告)号:CN102947216B
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201180016329.1
申请日:2011-03-15
Applicant: 艾尔默斯半导体股份公司 , 硅微结构有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264
Abstract: 微机电装置具有:适于制造微电子组件的衬底(1),尤其是半导体衬底。微机械组件集成到衬底(1)中,所述微机械组件具有能够可逆地弯曲的弯曲元件(4),该弯曲元件具有与衬底(1)连接的第一端部(34),并且从该第一端部(34)出发通过自由空间(3)延伸。弯曲元件(4)具有至少一个接片(8),该接片带有两个侧边缘,所述侧边缘的走向(35)通过与侧边缘邻接的、引入弯曲元件(4)中的凹处(6)来限定。为了形成在接片(8)内的均匀区域,从弯曲元件(4)的第一端部(34)出发来观察,接片(8)的侧边缘的相互距离减小,其中在所述均匀区域中在将弯曲元件(4)弯曲时出现的机械应力基本上大小相同。此外,该装置具有对于机械应力敏感的至少一个微电子组件(36),所述微电子组件在接片(8)的均匀区域内集成在其中。
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公开(公告)号:CN102947216A
公开(公告)日:2013-02-27
申请号:CN201180016329.1
申请日:2011-03-15
Applicant: 艾尔默斯半导体股份公司 , 硅微结构有限公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264
Abstract: 微机电装置具有:适于制造微电子组件的衬底(1),尤其是半导体衬底。微机械组件集成到衬底(1)中,所述微机械组件具有能够可逆地弯曲的弯曲元件(4),该弯曲元件具有与衬底(1)连接的第一端部(34),并且从该第一端部(34)出发通过自由空间(3)延伸。弯曲元件(4)具有至少一个接片(8),该接片带有两个侧边缘,所述侧边缘的走向(35)通过与侧边缘邻接的、引入弯曲元件(4)中的凹处(6)来限定。为了形成在接片(8)内的均匀区域,从弯曲元件(4)的第一端部(34)出发来观察,接片(8)的侧边缘的相互距离减小,其中在所述均匀区域中在将弯曲元件(4)弯曲时出现的机械应力基本上大小相同。此外,该装置具有对于机械应力敏感的至少一个微电子组件(36),所述微电子组件在接片(8)的均匀区域内集成在其中。
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