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公开(公告)号：CN107109625B
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201580071268.7
申请日：2015-11-19
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
发明人： M.朗
IPC分类号： C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/56 , C23C16/455
摘要： 本发明涉及一种用于在基板上沉积层的设备，基板在覆层时横向于进气机构的延伸方向在处理室中沿运动方向运动，进气机构具有处理气体分配腔，处理气体分配腔具有用于输入原料的输入口和在基板的运动轨道的整个宽度上延伸的、朝向基板的、用于排出包含原料的处理气体流的处理气体排出区，与第一排气区的延伸方向平行地沿基板的运动方向在处理气体排出区的前面布置有第二气体分配腔的第二排气区，并且沿基板的运动方向在处理气体排出区的后面布置有第三气体分配腔的第三排气区，分别用于排出第二气流和第三气流。第二和第三排气区与处理气体排出区直接相邻地布置。处理气体分配腔具有用于通过输入口可输入的固态或液态的原料的汽化装置。
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公开(公告)号：CN110036134A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201780073486.3
申请日：2017-11-13
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
发明人： W.J.T.克吕克肯 , M.朗 , R.范德海登 , N.阿尔艾哈迈德
IPC分类号： C23C14/22 , B01D1/16 , C23C16/448
摘要： 本发明涉及一种用于制备在载体气流中输送的、通过尤其气溶胶的或者悬浮液的液体或者固体颗粒的蒸发而产生的蒸气的装置，其具有至少一个输入管(2)，输入管以在具有被加热的传热面的蒸发体(17)的端侧(17')前方的间距(a)通入壳体(1)中，输入管用于沿输入管(2)的通入部(5)的轴线(A)方向向端侧(17)输入气溶胶的或者悬浮液的流。为了提高效率，规定有在通入部(5)和端侧(17)之间布置的冲击体(15)，所述冲击体具有一个或者多个冲击面(11,12,24)，其中，旋转对称的冲击面(11,12,24)以角度(a,β)相对于轴线(A)倾斜地定向，所述角度大于10度并且小于80度。
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公开(公告)号：CN106104221B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201580014084.7
申请日：2015-02-02
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
发明人： M.朗
摘要： 本发明涉及一种用于确定气体或气体混合物的质量流量的设备，其具有具备穿流方向的、用于使气体或气体混合物穿流的流体通道和至少三条分别以螺旋线圈形式设置的导电的丝线(4、10、15)，所述丝线相互共轴且相对于穿流方向同轴地布置，其中，两条丝线(4、15)沿穿流方向依次先后地布置。为了实现应用有利的改进而规定，三条丝线中的一条(4)构成管状的外部的丝线装置(3)，在外部的丝线装置内沿穿流方向依次布置的丝线(10、15)沿定义出轴线的穿流方向径向间隔地布置。
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公开(公告)号：CN105899709B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201480072849.8
申请日：2014-12-17
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C16/455 , H01J37/32
摘要： 本发明涉及一种设备，用于实施CVD处理过程，所述设备具有进气机构(2)，所述进气机构(2)布置在反应器壳体(1)中并且具有朝向处理室(3)的排气板(8)，所述排气板(8)具有多孔材料和多个排气孔(9、9′)，通过布置在所述进气机构(2)中的气体分配室(7、21、26)为所述排气孔(9、9′)供给处理气体。为了从制造技术上改进具有较大涂层面的进气机构、尤其用于CVD反应器的进气机构，在此建议，多孔材料构成所述排气板(8)的芯件(12)，所述芯件(12)的与处理气体接触的表面区段被封装。
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公开(公告)号：CN110461479A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880020878.8
申请日：2018-03-26
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
摘要： 本发明涉及一种用于定量地输出粉末的设备，所述设备具有具备第一配量凹空部(6)的、在壳体(1)中围绕旋转轴线(4)能够被旋转驱动的配量元件(3)，所述配量元件(3)具有填充容积(14)，在所述填充容积中能够用粉末填充多个配量凹空部(6)，其中，在排空位置上设有用于产生流体流的装置(19)，通过所述装置(19)能够将粉末从第一配量凹空部(6)输送至排放容积(13)中。这些第一配量凹空部(6)朝配量元件(3)的边缘(3’)开放。所述配量元件(3)被环形元件(5)围绕，所述环形元件具有径向向内开放的第二配量凹空部(7)，其中，环形元件(5)尤其位置固定地配属于壳体(1)。
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公开(公告)号：CN107075660B
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201580057372.0
申请日：2015-10-01
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/448 , C23C16/455
摘要： 本发明涉及一种在衬底(20)上沉积一个或多个特别是有机层的装置或方法，包括具有蒸发器(1',11')的工艺气体源(1,11)，在该蒸发器(1',11')中源调温器(2,12)产生源温度(T1,T1')，其中，向该蒸发器(1',11')中通入运载气体输入管线(4,14)，以将气态原料进料到第一输送管线(5,15)中，其中第一输送管线(5,15)可用管线调温器(7,17)调温，并且向第一输送管线(5,15)中通入第一稀释气体输入管线(8,18)，以将稀释气体流进料到第一输送管线(5,15)中，并且包括借助气体入口调温器(32)可调温至气体入口温度(T5)的气体入口机构(31)，该气体入口机构与第一输送管线(8,18)成管线连接，用该气体入口机构可将气态原料进料到工艺室(30)中，该工艺室具有承受器(35)，该承受器可借助承受器调温器(27)以这样的方式调温至承受器温度(T6)，使得位于承受器(35)上的衬底(20)上借助气态原料生长层。
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公开(公告)号：CN106133516A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201580015035.5
申请日：2015-02-23
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/32 , G01N30/76
摘要： 本发明涉及一种设备和方法，用于确定体积空间(2)内的蒸气的浓度或分压、尤其确定或调控由运载气输送经过体积空间(2)的蒸气的质量流量，其中，体积空间(2)借助加热器(8)能被加热到蒸气的冷凝温度之上，具有传感器(1)，提供取决于蒸气浓度或蒸气分压的传感器信号。为了在这种设备或方法、尤其用于沉积OLED层的方法中提供用于确定蒸气浓度的传感器，其传感器信号不受运载气影响或至少略受运载气影响，在此规定，传感器(1)具有置于振荡中的振动体，其振荡频率受到在振动体的表面上由冷凝的蒸气形成的物质累积的影响，其中，振动体具有温度控制装置，借此能够使振动体处在蒸气的冷凝温度之下的温度，其中，分析装置根据振荡频率的随时间的变化得出浓度或分压。
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公开(公告)号：CN105899709A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201480072849.8
申请日：2014-12-17
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C16/455 , H01J37/32
摘要： 本发明涉及一种设备，用于实施CVD处理过程，所述设备具有进气机构(2)，所述进气机构(2)布置在反应器壳体(1)中并且具有朝向处理室(3)的排气板(8)，所述排气板(8)具有多孔材料和多个排气孔(9、9′)，通过布置在所述进气机构(2)中的气体分配室(7、21、26)为所述排气孔(9、9′)供给处理气体。为了从制造技术上改进具有较大涂层面的进气机构、尤其用于CVD反应器的进气机构，在此建议，多孔材料构成所述排气板(8)的芯件(12)，所述芯件(12)的与处理气体接触的表面区段被封装。
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公开(公告)号：CN105274476A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510386512.0
申请日：2015-06-30
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C14/24 , C23C16/448
摘要： 本发明涉及一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，其具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体中的、具有传热面的传热体，所述传热体能分别加热至传热温度，所述设备具有用于将气溶胶导入所述传热体中的一个的输入管(4)，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。在此规定，所述传热体的至少一个具有开口，输入管(4)插入所述开口中，其中，输入管(4)具有用于输入气溶胶的第一流动通道(23)和用于输入运载气体的第二流动通道(24)，其中，设有气体贯穿口(29、30)，运载气体能通过气体贯穿口(29、30)从第二流动通道(24)流向第一流动通道(23)，并且其中尤其规定，第二流动通道(24)在输入管的通口(4')的区域中是封闭的。
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公开(公告)号：CN103732786A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201180072858.3
申请日：2011-06-22
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/26 , C23C14/56
摘要： 一种用于将载气和沉积气体的混合物输送到温度受控的目标基底的气相沉积系统，包括：转子；定位在转子内的定子，用于在定子和转子之间相对旋转地移动，转子包含多个支撑面，每个支撑面具有安装于此的框架；导电三维开孔式网状结构加热器元件，具有支撑在每个框架内的气相沉积在上面的选定的气相沉积材料的固体涂层，加热器元件能够可控地汽化固体涂层；连接到定子的载气进给管，用于将载气输送到定子内的输送管道；位于转子中的多个小面管道，每个小面管道与相应的支撑面对准，转子和定子的相对旋转运动允许输送管道与任何一个选定的小面管道对准，载气由此流过与选定的小面管道相邻的加热器元件。
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