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公开(公告)号：CN108699689B
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201780013619.8
申请日：2017-01-10
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455
摘要： 本发明涉及一种用于在涂层设备中制备过程气体的装置，所述装置具有壳体(1)和布置在所述壳体(1)中的、包含用于液态或固态的起始材料的蒸发装置(3、3＇、3″)的源壳体(2)，具有通入所述源壳体(2)以产生穿过源壳体(2)的第一气流(5)的第一气体输入管道(4)，具有将第一气流(5)从所述源壳体(2)排出到输送管道(7)中的第一排气通道(6)，具有通入所述壳体(1)以产生在所述源壳体(2)外穿过壳体(1)的第二气流(9)的第二气体输入管道(8)，并且具有将第二气流(9)从所述壳体(1)排出到所述输送管道(7)中的第二排气通道(10)，第二排气通道(10)包围第一排气通道(6)，并且在第二排气通道(10)中布置有反向扩散屏障(11)。按照本发明，所述反向扩散屏障(11)构造为，能够实现所述排气通道(6)的两个尤其相对置的壁段彼此相对的位置改变。
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公开(公告)号：CN105274476A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510386512.0
申请日：2015-06-30
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C14/24 , C23C16/448
摘要： 本发明涉及一种用于CVD或PVD装置的用来产生蒸汽的设备，其具有至少两个沿运载气体的流动方向依次布置在壳体中的、具有传热面的传热体，所述传热体能分别加热至传热温度，所述设备具有用于将气溶胶导入所述传热体中的一个的输入管(4)，以便通过气溶胶颗粒与传热面形成接触而使气溶胶汽化。在此规定，所述传热体的至少一个具有开口，输入管(4)插入所述开口中，其中，输入管(4)具有用于输入气溶胶的第一流动通道(23)和用于输入运载气体的第二流动通道(24)，其中，设有气体贯穿口(29、30)，运载气体能通过气体贯穿口(29、30)从第二流动通道(24)流向第一流动通道(23)，并且其中尤其规定，第二流动通道(24)在输入管的通口(4')的区域中是封闭的。
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公开(公告)号：CN106661719B
公开(公告)日：2019-09-03
申请号：CN201580035081.1
申请日：2015-06-17
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
摘要： 本发明涉及一种用于在CVD或者PVD装置中产生蒸气的设备和方法，其中，在固体的或者液体的颗粒上通过与单级或者多级蒸发装置(1、2)的、升至蒸发温度的第一热传导面的接触传递蒸发热，并且载体气沿其流动方向将由颗粒的蒸发产生的蒸气从蒸发装置(1、2)输送出。根据本发明蒸气由载体气运输穿过沿流动方向布置在蒸发装置(1、2)之后的单级或者多级的具有第二热传导面的调制装置(3、4)，该第二热传导面在蒸汽供应阶段被温度控制为第一调制温度，在第一调制温度下蒸气穿过调制装置(3、4)而不冷凝在第二热传导面上，并且所述第二热传导面中断阶段中被温度控制到第二调制温度，在第二调制温度下蒸气的至少一部分冷凝在第二热传导面上。冷却通过冷却气进行。
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公开(公告)号：CN108699689A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780013619.8
申请日：2017-01-10
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4483 , C23C16/45512 , C23C16/45561
摘要： 本发明涉及一种用于在涂层设备中制备过程气体的装置，所述装置具有壳体(1)和布置在所述壳体(1)中的、包含用于液态或固态的起始材料的蒸发装置(3、3＇、3〃)的源壳体(2)，具有通入所述源壳体(2)以产生穿过源壳体(2)的第一气流(5)的第一气体输入管道(4)，具有将第一气流(5)从所述源壳体(2)排出到输送管道(7)中的第一排气通道(6)，具有通入所述壳体(1)以产生在所述源壳体(2)外穿过壳体(1)的第二气流(9)的第二气体输入管道(8)，并且具有将第二气流(9)从所述壳体(1)排出到所述输送管道(7)中的第二排气通道(10)，第二排气通道(10)包围第一排气通道(6)，并且在第二排气通道(10)中布置有反向扩散屏障(11)。按照本发明，所述反向扩散屏障(11)构造为，能够实现所述排气通道(6)的两个尤其相对置的壁段彼此相对的位置改变。
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公开(公告)号：CN106661719A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201580035081.1
申请日：2015-06-17
申请人： 艾克斯特朗欧洲公司
摘要： 本发明涉及一种用于在CVD或者PVD装置中产生蒸气的设备和方法，其中，在固体的或者液体的颗粒上通过与单级或者多级蒸发装置(1、2)的、升至蒸发温度的第一热传导面的接触传递蒸发热，并且载体气沿其流动方向将由颗粒的蒸发产生的蒸气从蒸发装置(1、2)输送出。根据本发明蒸气由载体气运输穿过沿流动方向布置在蒸发装置(1、2)之后的单级或者多级的具有第二热传导面的调制装置(3、4)，该第二热传导面在蒸汽供应阶段被温度控制为第一调制温度，在第一调制温度下蒸气穿过调制装置(3、4)而不冷凝在第二热传导面上，并且所述第二热传导面中断阶段中被温度控制到第二调制温度，在第二调制温度下蒸气的至少一部分冷凝在第二热传导面上。冷却通过冷却气进行。
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