公开(公告)号：CN1739190A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200480002329.6

申请日：2004-01-16

Applicant: 艾克塞利斯技术公司 ,  JSR株式会社

Inventor： C·沃尔德弗里德 ,  Q·韩 ,  O·埃斯科尔西亚 ,  R·阿尔巴诺 ,  I·L·伯里三世 ,  盐田淳

IPC: H01L21/3065 ,  H01B3/46 ,  C04B41/00 ,  B29C59/14 ,  B32B37/00

Abstract: 具有提高了的弹性模量和材料硬度的低介电常数的多孔材料。制备这种多孔材料的方法包括提供多孔介电材料并用无氟等离子体气体等离子体固化此多孔介电材料以制备无氟等离子体固化的多孔介电材料。多孔介电材料的无氟等离子体固化得到具有提高了的模量和材料硬度以及相当的介电常数的材料。弹性模量的增加一般大于或约为50％。

公开(公告)号：CN1852772A

公开(公告)日：2006-10-25

申请号：CN200480026549.2

申请日：2004-06-07

Applicant: 艾克塞利斯技术公司

Inventor： C·沃尔德弗里德 ,  Q·韩 ,  O·埃斯科尔西亚 ,  I·L·伯里三世

IPC: B05D3/06 ,  H01L21/312 ,  H01L21/314 ,  H01L21/324 ,  C23C16/40 ,  C04B41/46 ,  C04B41/50 ,  C09D183/02 ,  C09D183/04

CPC classification number: C09D183/02 ,  C09D183/04 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/0234 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/3121 ,  H01L21/3122 ,  H01L21/31695

Abstract: 具有提高的弹性模量和材料硬度的低介电常数材料。制备所述材料的方法，包括：提供介电材料，用紫外线固化所述介电材料，由此得到紫外线固化的介电材料。紫外线固化得到了具有提高的弹性模量和材料硬度的材料，各自的提高率分别大于或等于约50％。对此紫外线固化的介电材料可进行任选的后紫外线处理。与LIV固化介电材料相比，后紫外线处理减小了材料的介电常数同时保持弹性模量和材料硬度的提高。与加热炉固化相比，紫外线固化的介电材料在固化过程中的总热预算少。