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公开(公告)号：CN1473349A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818500.2
申请日：2001-08-17
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个粒子充电系统(12)，用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场(50)以便促使带电粒子离开离子束(16)的行进方向(18)。
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公开(公告)号：CN1473347A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
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公开(公告)号：CN100468604C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN01818486.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个电场发生器(12、14)，用于产生相对于离子束(16)的行进路径(20)的电场(28)。位于电场(28)的一个区域内并且位于离子束(16)中的粒子(66)充电至与离子束(16)相匹配的极性，以便使得电场(28)可以推动带电粒子(66)移出离子束(16)。
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公开(公告)号：CN1311509C
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN01818276.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。
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公开(公告)号：CN1473346A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818276.3
申请日：2001-08-21
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30 , H01J3/40
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 本发明提供一种用于抑制污染物微粒随离子束(44)的传输的系统(10)，所述系统(10)包括：一对电极(14、16)，所述电极(14、16)提供离子束(44)从中行进的相反的电场(26、28、30、32)。当微粒(60)行进过第一电场(26、28)时，离子束(44)中所携带的微粒(60)被带以与离子束(44)极性相匹配的电荷。下游电极(16)提供具有另一个电场(30、32)，以便于排斥带正电荷的微粒(60)远离射束行进方向的下游。
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公开(公告)号：CN100375218C
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN01818500.2
申请日：2001-08-17
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/02 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/3002 , H01J37/3171 , H01J2237/004 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 一种用于禁止污染粒子与离子束(16)一起传输的系统包括一个粒子充电系统(12)，用于在离子束通过的区域中对粒子充电。在充电区域的下游处产生一个电场(50)以便促使带电粒子离开离子束(16)的行进方向(18)。
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公开(公告)号：CN1199223C
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN99104445.2
申请日：1999-03-29
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
IPC: H01J27/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J27/04 , H01J37/08 , H01J2237/022 , H01J2237/061
Abstract: 一种用来使离子源(12)清洁的方法和系统。该离子源包括等离子体腔室(22)，可电离的掺杂气体源(66)和用来把可电离掺杂气体引进等离子体腔室中的质量流量控制器(68)，清理气体源(182)和用来把清理气体引进等离子体腔室中的质量流量控制器(184)，至少部分地设置在腔室内的射频天线(130)，用来把能量赋予可电离的掺杂气体和清理气体，以在等离子体腔室内产生等离子体。等离子体包括掺杂气体的被分解和被电离的组分和清理气体的被分解和被电离的组分。
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公开(公告)号：CN1166263C
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN97114806.6
申请日：1997-05-30
Applicant: 艾克塞利斯技术公司
Inventor： V·M·本维尼斯特 , M·P·克里斯托弗罗
CPC classification number: H01J27/024 , H01J27/16
Abstract: 包含在本发明中的离子源(12)是用于离子注入器中。离子源(12)包括一个气体密封室(18)，该密封室具有限定了一个气体电离区域(120)的导电室壁(112，114，116)。气体密封室(18)设有一个使离子射出室外的出口孔(126)。支架(15)固定与装置(13)相对的气体密封室(18)，装置(13)使射出气体密封室的离子形成离子束。电离材料的供给源把材料送到气体密封室(18)中。固定在支架上的天线(130)具有金属射频导电部(132)，该导电部直接安装在气体密封室(18)中，给气体电离区域(120)提供电离的能量。
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