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公开(公告)号:CN1234014A
公开(公告)日:1999-11-03
申请号:CN97198941.9
申请日:1997-10-17
申请人: 航空发动机的结构和研究公司
发明人: 弗朗索瓦·克里斯廷 , 让-吕克·东布莱德斯 , 斯特凡娜·古雅尔 , 让-吕克·莱吕安 , 克里斯蒂·罗宾-布罗斯 , 雅克·特博尔特
CPC分类号: C23C16/045 , C04B35/83 , C23C16/26 , C23C16/46 , F16D65/126 , F16D69/023
摘要: 待致密化的基片(10)放置在形成内部通道(26)和基片之间的间隙的至少一个环形堆垛(20)中。通过在每个基片中形成温度梯度,例如通过直接电感耦合以非均匀方式加热基片,使基片的远离其暴露于引入气体的表面的部分的温度高于其暴露表面的温度。在靠近反应腔第一纵向端的堆垛端部,为含有被淀积的物质的至少一种前体的气体在反应腔(30)中形成通至由基片堆垛的内部和外部构成的两个容积之一的通道,在远离反应腔第一纵向端的堆垛端部,向其形成气体通道的容积(26)被封闭。
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公开(公告)号:CN1071725C
公开(公告)日:2001-09-26
申请号:CN97198941.9
申请日:1997-10-17
申请人: 航空发动机的结构和研究公司
发明人: 弗朗索瓦·克里斯廷 , 让-吕克·东布莱德斯 , 斯特凡娜·古雅尔 , 让-吕克·莱吕安 , 克里斯蒂·罗宾-布罗斯 , 雅克·特博尔特
CPC分类号: C23C16/045 , C04B35/83 , C23C16/26 , C23C16/46 , F16D65/126 , F16D69/023
摘要: 待致密化的基片(10)放置在形成内部通道(26)和基片之间的间隙的至少一个环形堆垛(20)中。通过在每个基片中形成温度梯度,例如通过直接电感耦合以非均匀方式加热基片,使基片的远离其暴露于引入气体的表面的部分的温度高于其暴露表面的温度。在靠近反应腔第一纵向端的堆垛端部,为含有被淀积的物质的至少一种前体的气体在反应腔(30)中形成通至由基片堆垛的内部和外部构成的两个容积之一的通道,在远离反应腔第一纵向端的堆垛端部,向其形成气体通道的容积(26)被封闭。
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