-
公开(公告)号：CN102796996B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201210164806.5
申请日：2012-05-23
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： G05D11/138 , C23C16/4481 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/0318 , Y10T137/0324 , Y10T137/0335 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/7761
摘要： 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括固体前体化合物的输送装置。所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流和第二物流合并，形成第三物流，使得第三物流中的所述固体前体化合物的蒸气的露点低于常温。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
-
公开(公告)号：CN102373441B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201110261352.9
申请日：2011-08-09
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4483 , C23C16/45591
摘要： 一种输送装置包括入口和出口。所述输送装置包括进入室和排出室，所述排出室设置在与所述进入室相反的位置，通过圆锥形部分与所述进入室流体连通。所述排出室包括曲径结构，所述曲径结构可以进行操作，防止包含在输送装置中的固体前体化合物的固体颗粒离开所述输送装置，同时允许固体前体化合物的蒸气通过出口离开所述输送装置。
-
公开(公告)号：CN104789942A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510024653.8
申请日：2015-01-19
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
发明人： E·沃克 , R·L·迪卡洛 , D·V·谢奈-卡特哈特
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/005 , B01B1/06 , B01D1/14 , B01J4/002 , B01J4/004 , B01J4/02 , C23C16/4407 , C23C16/45561 , Y10T137/0391 , Y10T137/2076
摘要： 本文公开了一种递送装置，其包括腔室、气体进口、气体出口、浸渍管和套筒，所述浸渍管包含在所述腔室中并且具有上部和下部，所述浸渍管的上部与所述气体进口流体连通，并且可操作以允许载气进入，所述浸渍管的下部延伸进入所述腔室，所述浸渍管的下部在出口端终止，所述套筒具有第一端和第二端，所述第一端与所述浸渍管的下部过盈配合，所述套筒在受到干扰时发生振动。
-
公开(公告)号：CN102794136A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210164827.7
申请日：2012-05-23
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC分类号： B01J4/00
CPC分类号： C23C16/52 , B01D7/00 , C23C16/4481 , C23C16/45512 , C23C16/45557 , C23C16/45561 , C30B25/14 , C30B25/165 , G05D11/138 , Y10T137/0318 , Y10T137/2499 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/2559 , Y10T137/2562 , Y10T137/265 , Y10T137/2657 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761
摘要： 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括固体前体化合物的输送装置。所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流和第二物流合并，形成第三物流，使得第三物流中的所述固体前体化合物的蒸气的露点低于常温。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
-
公开(公告)号：CN102794136B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210164827.7
申请日：2012-05-23
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC分类号： B01J4/00
CPC分类号： C23C16/52 , B01D7/00 , C23C16/4481 , C23C16/45512 , C23C16/45557 , C23C16/45561 , C30B25/14 , C30B25/165 , G05D11/138 , Y10T137/0318 , Y10T137/2499 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/2559 , Y10T137/2562 , Y10T137/265 , Y10T137/2657 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761
摘要： 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括固体前体化合物的输送装置。所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流和第二物流合并，形成第三物流，使得第三物流中的所述固体前体化合物的蒸气的露点低于常温。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
-
公开(公告)号：CN102796996A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210164806.5
申请日：2012-05-23
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： G05D11/138 , C23C16/4481 , C23C16/45561 , C23C16/52 , Y10T137/0318 , Y10T137/0324 , Y10T137/0335 , Y10T137/2501 , Y10T137/2509 , Y10T137/7761
摘要： 一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括固体前体化合物的输送装置。所述载气的第一物流的温度等于或高于20℃。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流和第二物流合并，形成第三物流，使得第三物流中的所述固体前体化合物的蒸气的露点低于常温。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
-
公开(公告)号：CN102373441A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110261352.9
申请日：2011-08-09
申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司
IPC分类号： C23C16/455
CPC分类号： C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/4483 , C23C16/45591
摘要： 一种输送装置包括入口和出口。所述输送装置包括进入室和排出室，所述排出室设置在与所述进入室相反的位置，通过圆锥形部分与所述进入室流体连通。所述排出室包括曲径结构，所述曲径结构可以进行操作，防止包含在输送装置中的固体前体化合物的固体颗粒离开所述输送装置，同时允许固体前体化合物的蒸气通过出口离开所述输送装置。
-
-
-
-
-
-
搜索结果
7 条记录 (耗时 0.031 秒)
