公开(公告)号：CN105732884B

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201610120335.6

申请日：2013-09-23

申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司

发明人： D·王 ,  孙纪斌 ,  庄芃薇 ,  P·特雷弗纳三世 ,  刘骢

IPC分类号： C08F220/18 ,  C08F230/04 ,  C08F220/10 ,  C08F30/04 ,  C08F20/06 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  G03F1/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038

CPC分类号： C08F220/10 ,  C08F220/18 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094

摘要： 提供了适用于旋涂金属硬掩模的包含某些有机金属低聚物的组合物，其中该组合物可以被改变组成以提供具有一系列刻蚀选择性的金属氧化物硬掩模。还提供了使用本发明的组合物沉积金属氧化物硬掩模的方法。

公开(公告)号：CN105732884A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610120335.6

申请日：2013-09-23

申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司

发明人： D·王 ,  孙纪斌 ,  庄芃薇 ,  P·特雷弗纳三世 ,  刘骢

IPC分类号： C08F220/18 ,  C08F230/04 ,  C08F220/10 ,  C08F30/04 ,  C08F20/06 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  G03F1/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038

CPC分类号： C08F220/10 ,  C08F220/18 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094 ,  C08F230/04 ,  C08F20/06 ,  C08F30/04 ,  G03F1/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  G03F7/16 ,  H01L21/0271 ,  C08F2220/1825 ,  C08F2220/1808

摘要： 提供了适用于旋涂金属硬掩模的包含某些有机金属低聚物的组合物，其中该组合物可以被改变组成以提供具有一系列刻蚀选择性的金属氧化物硬掩模。还提供了使用本发明的组合物沉积金属氧化物硬掩模的方法。

公开(公告)号：CN103681253B

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201310571344.3

申请日：2013-09-23

申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司

发明人： D·王 ,  孙纪斌 ,  庄芃薇 ,  P·特雷弗纳三世 ,  刘骢

IPC分类号： H01L21/027 ,  C08F220/10 ,  C08F220/18

CPC分类号： C08F220/10 ,  C08F220/18 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094

摘要： 提供了适用于旋涂金属硬掩模的包含某些有机金属低聚物的组合物，其中该组合物可以被改变组成以提供具有一系列刻蚀选择性的金属氧化物硬掩模。还提供了使用本发明的组合物沉积金属氧化物硬掩模的方法。

公开(公告)号：CN103681253A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310571344.3

申请日：2013-09-23

申请人： 罗门哈斯电子材料有限公司

发明人： D·王 ,  孙纪斌 ,  庄芃薇 ,  P·特雷弗纳三世 ,  刘骢

IPC分类号： H01L21/027 ,  C08F220/10 ,  C08F220/18

CPC分类号： C08F220/10 ,  C08F220/18 ,  G03F7/091 ,  G03F7/094

摘要： 提供了适用于旋涂金属硬掩模的包含某些有机金属低聚物的组合物，其中该组合物可以被改变组成以提供具有一系列刻蚀选择性的金属氧化物硬掩模。还提供了使用本发明的组合物沉积金属氧化物硬掩模的方法。