公开(公告)号：CN116466106A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310071146.4

申请日：2023-01-16

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： Z·切凯 ,  B·西蒙尼 ,  C·施文克

IPC: G01P15/125 ,  G01P3/44 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，其具有：带有第一电极(2)的衬底；和震动质量元件(5)，其中，在所述震动质量元件(5)内部布置有第二电极(3)，其中，所述第二电极(3)双金属构造。

公开(公告)号：CN118962182A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410599310.3

申请日：2024-05-15

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： Z·切凯 ,  A·叶米利 ,  M·科斯特

IPC: G01P15/00 ,  G01D5/24

Abstract: 本发明涉及一种微机电加速度传感器和用于运行微机电加速度传感器的方法。微机电加速度传感器，具有衬底、第一和第二摇摆件。摇摆件分别通过弹簧元件与布置在衬底上的锚固装置连接并能够绕着平行于衬底延伸的旋转轴线旋转地支承。第一摇摆件关于旋转轴线具有不对称的质量分布，第二摇摆件关于旋转轴线具有对称的质量分布。第一摇摆件包括具有对称质量分布的框架结构和附加质量。框架结构具有第一框架和第二框架。框架关于垂直于旋转轴线且平行于衬底的方向布置在旋转轴线的相对置的侧上。第一框架围绕第一槽口，第二框架围绕第二槽口。附加质量布置在第一槽口中并且通过另外的弹簧元件与第一框架连接。