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公开(公告)号：CN116466106A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310071146.4
申请日：2023-01-16
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/125 , G01P3/44 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及一种微机械惯性传感器(100)，其具有：带有第一电极(2)的衬底；和震动质量元件(5)，其中，在所述震动质量元件(5)内部布置有第二电极(3)，其中，所述第二电极(3)双金属构造。
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