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公开(公告)号：CN104678551B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201410708648.4
申请日：2014-11-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858
Abstract: 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
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公开(公告)号：CN107074529B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201580032809.5
申请日：2015-05-29
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及在硅衬底内构造空腔的方法，其中，硅衬底的表面相对于第一平面具有倾斜角，第一平面为硅衬底的{111}平面，在硅衬底的表面上布置蚀刻掩模。蚀刻掩模具有伸进掩模开口内的第一前置结构和第一蚀刻开端区域。掩模开口在第一蚀刻开端区域外的其他棱边布置为平行于硅衬底的{111}平面。所述方法包括在确定的蚀刻持续时间内各向异性地蚀刻硅衬底的步骤。朝向硅衬底的 方向的蚀刻速率小于朝向其他方向的蚀刻速率，第一前置结构从第一蚀刻开端区域出发朝向第一侧蚀方向侧蚀。蚀刻持续时间这样确定：通过各向异性蚀刻在硅衬底内构造空腔，经过该蚀刻持续时间之后，硅衬底的第一平面露出并构成空腔的底面。
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公开(公告)号：CN104418293A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410426178.2
申请日：2014-08-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81B7/0019 , B81B2201/042 , B81C99/005
Abstract: 本发明提供了一种微机械结构元件和一种用于微机械结构元件的相应检查方法。微机械结构元件包括：至少一个第一区域(1)，所述至少一个第一区域通过一弹簧装置(2a)与一第二区域(100)弹性连接；一布置在所述弹簧装置(2a)中和/或上的电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)，所述电阻装置能够在所述弹簧装置(2a、2b；2a'、2a″、2b'、2b″；22-25)损坏时至少部分被中断；一检测装置(50；50')，所述检测装置与所述电阻装置(R)电连接，用于检测所述电阻装置(R；R1；R″；R″'；R1、R2、R0)的中断和用于产生相应的检测信号(S)。
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公开(公告)号：CN102026909A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200880129170.2
申请日：2008-12-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 提出一种用于制造芯片(1，2)的方法，其中，首先在半导体衬底(10)的表面层中生成至少一个跨越空穴(13)的薄膜(11，12)。随后将芯片(1，2)的功能性集成到所述薄膜(11，12)中。为了将芯片(1，2)分成单个，将薄膜(11，12)从衬底接合部脱开。根据本发明，应当在将芯片(1，2)从衬底接合部脱出之前在电镀工艺中对芯片背面进行金属化。
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公开(公告)号：CN104843634B
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201510079465.5
申请日：2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于通过以下方式结构化由两个半导体层与位于两个半导体层之间的绝缘层和/或蚀刻停止层组成的层结构的方法：在两个半导体层中的第一半导体层的第一侧上构造第一蚀刻掩膜；实施从第一外侧出发的用于结构化第一半导体层的第一蚀刻步骤，在两个半导体层中的第二半导体层的第二侧上构造第二蚀刻掩膜；实施从第二外侧出发的用于结构化第二半导体层的第二蚀刻步骤，其中，在实施第一蚀刻步骤之后并且在实施第二蚀刻步骤之前，在至少一个在第一蚀刻步骤中蚀刻的第一沟槽的至少一个沟槽壁上沉积至少一种蚀刻保护材料。本发明同样涉及一种用于微机械部件的制造方法。此外，本发明涉及一种微机械部件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104925747A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510235546.X
申请日：2015-02-15
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B7/0067 , B81B2201/042 , B81C1/00317 , B81C3/001 , B81C2203/032 , G02B26/0833 , Y10T29/49789 , Y10T29/49799 , Y10T29/49885 , Y10T29/49888 , Y10T29/49947 , Y10T428/24331
Abstract: 本发明涉及一种用于装配有透明板(28)的晶片(12)的制造方法，所述制造方法具有以下步骤：在晶片(12)中构造至少一列通孔(10)，借助机械工具(40，42，50，52，60，62)在晶片表面(14a)中构造至少一个带状凹部(16)，其中同一列的通孔(10)中的每一个部分地与相应分配的带状凹部(16)重叠并且在同一列的两个相邻的通孔(10)之间的每一个中间区域(20)中构造有一个不中断的槽(18)，所述不中断的槽的底面(18a)以大于0°且小于90°的倾斜角(α)倾斜于所述晶片表面(14a)定向，以及借助由至少一种材料构成的至少一个透明板(28)来覆盖所述至少一个通孔(20)，所述至少一种材料至少对于电磁辐射的一部分频谱而言是穿透的。本发明同样涉及一种用于覆盖罩的制造方法、一种晶片(12)和一种覆盖罩。
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公开(公告)号：CN104843629A
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201510079599.7
申请日：2015-02-13
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C1/00277 , B81B7/0035 , B81B7/007 , B81B2207/095 , B81B2207/097 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18-i，26-i)电接通。
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公开(公告)号：CN102026909B
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN200880129170.2
申请日：2008-12-02
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提出一种用于制造芯片(1，2)的方法，其中，首先在半导体衬底(10)的表面层中生成至少一个跨越空穴(13)的薄膜(11，12)。随后将芯片(1，2)的功能性集成到所述薄膜(11，12)中。为了将芯片(1，2)分成单个，将薄膜(11，12)从衬底接合部脱开。根据本发明，应当在将芯片(1，2)从衬底接合部脱出之前在电镀工艺中对芯片背面进行金属化。
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公开(公告)号：CN106030374A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201580008827.X
申请日：2015-01-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： R·施特劳布 , K·德塞尔 , F·恩吉卡姆恩吉蒙齐 , H·格鲁茨埃克 , Z·莱什詹 , J·巴德尔 , J·穆霍 , F·沙茨 , S·安布鲁斯特 , S·莱迪克 , J·佛伦茨
Abstract: 本发明公开一种镜设备，所述镜设备具有：镜，所述镜振动地受支承；线圈；至少一个第一弹簧，所述至少一个第一弹簧将所述镜和所述线圈如此互相耦合，使得所述线圈布置为振动的所述镜的平衡重。本发明还公开一种相应的投影装置。
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公开(公告)号：CN104678551A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410708648.4
申请日：2014-11-28
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/08
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/085 , G02B26/0858
Abstract: 本发明涉及一种用于微镜装置的微镜(10)，所述微镜具有镜侧(12)和远离所述镜侧(12)定向的背侧(14)，其中所述背侧(14)的至少一个中央区域具有至少一个与所述镜侧(12)平面平行的面(18a，18b)，其中如此成型所述背侧(14)，使得所述背侧(14)的每一个侧区域在所述中央区域的相对置的两侧上与所述背侧(14)的中央区域连接，所述每一个侧区域分别具有至少一个拱形的和/或相对于所述镜侧(12)倾斜定向的侧面(20)，其中从所述中央区域出发所述微镜(10)的高度沿着所述微镜(10)的延伸穿过所述中央区域和两个侧区域的横截面连续减小。本发明同样涉及一种微镜装置。此外，本发明涉及一种用于至少一个可设置或设置在微镜装置中的微镜的制造方法以及一种用于微镜装置的制造方法。
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