公开(公告)号：CN110031963A

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201910022738.0

申请日：2019-01-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： C.胡贝尔 ,  C.舍林 ,  C.D.克雷默 ,  R.诺尔特迈尔 ,  R.雷德尔

IPC: G02B26/00

Abstract: 本发明涉及用于运行可调的光学谐振器的方法和设备以及光学谐振器。本发明涉及一种用于运行可调的光学谐振器（100）的方法（300），其中光学谐振器具有：第一镜面元件（102）；在镜面距离方面能相对于第一镜面元件移动地布置的第二镜面元件（104）；被分配给第一镜面元件的第一电极（106）；和被分配给第二镜面元件的第二电极（112）。第二电极与第一电极对置地来布置，其中通过向第一电极施加交变电位，第二镜面元件能偏移。在该方法中，首先将用于改变镜面距离的驱动交变电位与用于探测镜面距离的探测交变电位叠加，以便获得交变电位。量取附在第二电极上的电极电位。最后，在使用交变电位和电极电位的情况下产生表示镜面距离的距离信号。

公开(公告)号：CN111721412A

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202010201457.4

申请日：2020-03-20

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R.雷德尔 ,  C.D.克雷默 ,  M.施密德

IPC: G01J3/26 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明涉及一种干涉仪装置，包括：第一反射镜装置和第二反射镜装置；边缘结构，其中，第一反射镜装置和第二反射镜装置分别固定在所述边缘结构上并且所述边缘结构至少部分在横向在它的边缘区域上围绕第一反射镜装置和第二反射镜装置；其中，第一反射镜装置和第二反射镜装置彼此间隔第一间距布置，并且第一和/或第二反射镜装置在分别在横向处在边缘结构中的横向的内部区域中跨越空置的区域并且在这个空置的区域中能关于另一个反射镜装置运动，因此第一间距尤其能通过驱动改变；和多个刻蚀入口，刻蚀入口延伸穿过第一反射镜装置和/或穿过第二反射镜装置地进入空置的区域。