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公开(公告)号：CN113196021A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980082495.8
申请日：2019-12-06
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明涉及一种光谱仪设备（1a），其具有：光学干涉滤光器（2），所述光学干涉滤光器被构造为：在入射光线（L）穿过所述光学干涉滤光器（2）时对所述入射光线的特定的波长范围进行滤波；探测装置（3），所述探测装置被构造为探测经滤波的光线（L）；和聚焦装置（4a），所述聚焦装置具有反射表面（5），其中所述聚焦装置（4a）被构造为：通过在所述表面（5）上的反射来使所述经滤波的光线（L）聚焦到所述探测装置（3）上。
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公开(公告)号：CN113039414B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201980077473.2
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出一种干涉仪装置（1），所述干涉仪装置包括：衬底（2）；在所述衬底（2）上施加的中间层区域（3）；第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），其中所述第一镜装置和所述第二镜装置相对彼此平面平行地对准并且以第一间距（d12）彼此间隔开并且被包围在所述中间层区域（3）内或者被布置在所述中间层区域上，其中所述中间层区域（3）在内部区域（IB）内在所述第一镜装置（SP1）之下和/或在所述第二镜装置（SP2）之下被移除；和横向结构化的电极（E），其中所述横向结构化的电极包括第一子区域（E1）和至少一个横向上与所述第一子区域分离的并且电绝缘的第二子区域（E2），其中所述第一子区域和所述第二子区域能够连接到不同电位，其中所述电极（E）布置成离所述第一或第二镜装置（SP1；SP2）有第二间距（d2），其中所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中延伸并且布置在所述中间层区域（3）上，而所述第二子区域（E2）则在所述中间层区域（3）的外部区域（AB）中延伸，从而使所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）能够通过所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中静电地并且平行于所述衬底（2）地移动并且所述第一间距（d12）是可变的。
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公开(公告)号：CN113302464B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN201980089437.8
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供一种干涉仪装置（1），该干涉仪装置包括：第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距（d12）彼此被隔开，其中所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）是能运动的，使得所述间距（d12）是可变的；基板（2），其中所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）叠置地布置在所述基板（2）的光学区域（OB）中，并且其中所述光学区域（OB）包括用于被所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）允许透过的电磁辐射（L）的第一辐射区域（AB1）和第二辐射区域（AB2），所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸；滤波装置（F），该滤波装置布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射（L）的波长的、依赖于第一间距（d12）的透过特征；以及探测器装置（3），该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域（AB1）的光路中的第一探测器区域（D1）和布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中的第二探测器区域（D2），其中所述探测器装置（3）被设立用于在所述第一探测器区域（D1）中探测来自所述第一和第二镜装置（SP1、SP2）的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域（D2）中探测来自所述滤波装置（F）的第二电磁辐射（St2）。
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公开(公告)号：CN113302464A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201980089437.8
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供一种干涉仪装置（1），该干涉仪装置包括：第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距（d12）彼此被隔开，其中所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）是能运动的，使得所述间距（d12）是可变的；基板（2），其中所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）叠置地布置在所述基板（2）的光学区域（OB）中，并且其中所述光学区域（OB）包括用于被所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）允许透过的电磁辐射（L）的第一辐射区域（AB1）和第二辐射区域（AB2），所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸；滤波装置（F），该滤波装置布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射（L）的波长的、依赖于第一间距（d12）的透过特征；以及探测器装置（3），该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域（AB1）的光路中的第一探测器区域（D1）和布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中的第二探测器区域（D2），其中所述探测器装置（3）被设立用于在所述第一探测器区域（D1）中探测来自所述第一和第二镜装置（SP1、SP2）的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域（D2）中探测来自所述滤波装置（F）的第二电磁辐射（St2）。
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公开(公告)号：CN117396281A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202280038385.3
申请日：2022-04-07
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： B06B1/06
摘要： 本发明涉及一种用于制造微电子机械振动系统、尤其是压电微加工超声换能器(20a)的方法。在此，首先提供具有第一表面(3)的载体衬底(1)，并且接下来将第一钝化层(7)施加到所述第一载体衬底(1)的第一表面(3)上。接下来，第一多晶硅层(7)生长到所述第一钝化层(2)和/或所述第一载体衬底(1)的第一表面(3)上，并且接下来将第二钝化层(5)施加到所述第一多晶硅层(7)的第二表面(6)上。随后，第二多晶硅层(11)生长到所述第一多晶硅层(7)和/或所述第二钝化层(5)上。接下来，将微电子机械振动系统的换能器元件(10)施加到所述第二多晶硅层(11)的第三表面(8)上。此外，完全穿过所述载体衬底(1)并且穿过所述第一多晶硅层(7)在朝着所述换能器元件(10)的方向上产生所述第一槽(14)。在此，所述第一槽(14)延伸直至所述第二钝化层(5)，使得与所述第一槽(14)邻接地借助所述第二多晶硅层(11)产生所述微电子机械振动系统的能够振动的换能器板(19)。
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公开(公告)号：CN113785227A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202080034778.8
申请日：2020-04-29
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供了一种用于干涉仪装置（10）的反射镜装置（1），其包括：上下平行地并且彼此相距反射镜层间距（d23）地布置的第一反射镜层（2）和第二反射镜层（3），其中，所述反射镜层间距（d23）在第一和第二反射镜层（2、3）之间形成中间腔（5），其中，所述中间腔（5）包括气体或真空；至少一个至少部分地在第一和第二反射镜层（2、3）之间延伸的间隔结构（4），其中，所述间隔结构（4）包括与第一和/或第二反射镜层（2、3）相同或不同的材料。
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公开(公告)号：CN117413636A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202280038384.9
申请日：2022-04-25
申请人： 罗伯特·博世有限公司
IPC分类号： H10N30/00
摘要： 本发明涉及一种用于制造微电子机械振动系统的方法。在此，首先提供具有第一表面(4)的载体衬底(5)。接下来，产生环绕的第一槽(3a、3b)、尤其是第一沟道槽。第一槽(3a、3b)从所述载体衬底(5)的第一表面(4)至少部分地延伸穿过所述载体衬底(5)，并且所述第一表面(4)的被环绕的第一槽(3a、3b)所围成的面具有定义的形状和尺寸。另外，将钝化层(2)施加到所述第一载体衬底(5)的第一表面(4)上，并且环绕的第一槽(3a、3b)至少部分地被所述钝化层(2)填充。接下来，第一多晶硅层(7)生长到所述钝化层(2)和/或所述载体衬底(5)的第一表面(4)上。另外，将微电子机械振动系统的换能器元件(10)布置在所述第一多晶硅层(7)的第二表面(9)上。此外，完全穿过所述载体衬底(5)在朝着所述换能器元件(10)的方向上产生第二槽(14)，其中，所述第二槽(3a、3b)延伸直至所述钝化层(2)，使得与所述第二槽(3a、3b)邻接地借助所述第一多晶硅层(7)产生所述微电子机械振动系统的能够振动的换能器板(19)。
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公开(公告)号：CN113039414A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201980077473.2
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出一种干涉仪装置（1），所述干涉仪装置包括：衬底（2）；在所述衬底（2）上施加的中间层区域（3）；第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），其中所述第一镜装置和所述第二镜装置相对彼此平面平行地对准并且以第一间距（d12）彼此间隔开并且被包围在所述中间层区域（3）内或者被布置在所述中间层区域上，其中所述中间层区域（3）在内部区域（IB）内在所述第一镜装置（SP1）之下和/或在所述第二镜装置（SP2）之下被移除；和横向结构化的电极（E），其中所述横向结构化的电极包括第一子区域（E1）和至少一个横向上与所述第一子区域分离的并且电绝缘的第二子区域（E2），其中所述第一子区域和所述第二子区域能够连接到不同电位，其中所述电极（E）布置成离所述第一或第二镜装置（SP1；SP2）有第二间距（d2），其中所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中延伸并且布置在所述中间层区域（3）上，而所述第二子区域（E2）则在所述中间层区域（3）的外部区域（AB）中延伸，从而使所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）能够通过所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中静电地并且平行于所述衬底（2）地移动并且所述第一间距（d12）是可变的。
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