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公开(公告)号：CN113056664A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201980078655.1
申请日：2019-11-11
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供了一种光谱仪设备（10），其具有：至少一个光源（11），用于用光来照射样品（18）；光学检测装置（12），用于检测被所述样品（18）散射的光；至少一个光学滤波装置（13），所述光学滤波装置布置在所述样品（18）前面和/或后面；接触传感装置（15、16），用于确定在所述样品与所述光谱仪设备（10）之间的接触（19）并且用于输出相对应的输出信号；控制装置（17），用于响应于所述输出信号来控制所述光源（11）和所述检测装置（12），其中所述控制设备（17）被构建为使得当所述输出信号表明在所述样品与所述光谱仪设备（10）之间有接触（19）时所述控制装置改变所述光源（11）和所述检测装置（12）的至少一个运行参数。本发明还提供了一种用于运行光谱仪设备（10）的方法。
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公开(公告)号：CN113039414A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN201980077473.2
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出一种干涉仪装置（1），所述干涉仪装置包括：衬底（2）；在所述衬底（2）上施加的中间层区域（3）；第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），其中所述第一镜装置和所述第二镜装置相对彼此平面平行地对准并且以第一间距（d12）彼此间隔开并且被包围在所述中间层区域（3）内或者被布置在所述中间层区域上，其中所述中间层区域（3）在内部区域（IB）内在所述第一镜装置（SP1）之下和/或在所述第二镜装置（SP2）之下被移除；和横向结构化的电极（E），其中所述横向结构化的电极包括第一子区域（E1）和至少一个横向上与所述第一子区域分离的并且电绝缘的第二子区域（E2），其中所述第一子区域和所述第二子区域能够连接到不同电位，其中所述电极（E）布置成离所述第一或第二镜装置（SP1；SP2）有第二间距（d2），其中所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中延伸并且布置在所述中间层区域（3）上，而所述第二子区域（E2）则在所述中间层区域（3）的外部区域（AB）中延伸，从而使所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）能够通过所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中静电地并且平行于所述衬底（2）地移动并且所述第一间距（d12）是可变的。
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公开(公告)号：CN113302464A
公开(公告)日：2021-08-24
申请号：CN201980089437.8
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供一种干涉仪装置（1），该干涉仪装置包括：第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距（d12）彼此被隔开，其中所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）是能运动的，使得所述间距（d12）是可变的；基板（2），其中所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）叠置地布置在所述基板（2）的光学区域（OB）中，并且其中所述光学区域（OB）包括用于被所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）允许透过的电磁辐射（L）的第一辐射区域（AB1）和第二辐射区域（AB2），所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸；滤波装置（F），该滤波装置布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射（L）的波长的、依赖于第一间距（d12）的透过特征；以及探测器装置（3），该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域（AB1）的光路中的第一探测器区域（D1）和布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中的第二探测器区域（D2），其中所述探测器装置（3）被设立用于在所述第一探测器区域（D1）中探测来自所述第一和第二镜装置（SP1、SP2）的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域（D2）中探测来自所述滤波装置（F）的第二电磁辐射（St2）。
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公开(公告)号：CN113039414B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201980077473.2
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提出一种干涉仪装置（1），所述干涉仪装置包括：衬底（2）；在所述衬底（2）上施加的中间层区域（3）；第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），其中所述第一镜装置和所述第二镜装置相对彼此平面平行地对准并且以第一间距（d12）彼此间隔开并且被包围在所述中间层区域（3）内或者被布置在所述中间层区域上，其中所述中间层区域（3）在内部区域（IB）内在所述第一镜装置（SP1）之下和/或在所述第二镜装置（SP2）之下被移除；和横向结构化的电极（E），其中所述横向结构化的电极包括第一子区域（E1）和至少一个横向上与所述第一子区域分离的并且电绝缘的第二子区域（E2），其中所述第一子区域和所述第二子区域能够连接到不同电位，其中所述电极（E）布置成离所述第一或第二镜装置（SP1；SP2）有第二间距（d2），其中所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中延伸并且布置在所述中间层区域（3）上，而所述第二子区域（E2）则在所述中间层区域（3）的外部区域（AB）中延伸，从而使所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）能够通过所述第一子区域（E1）在所述内部区域（IB）中静电地并且平行于所述衬底（2）地移动并且所述第一间距（d12）是可变的。
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公开(公告)号：CN113302464B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN201980089437.8
申请日：2019-11-12
申请人： 罗伯特·博世有限公司
摘要： 本发明提供一种干涉仪装置（1），该干涉仪装置包括：第一镜装置（SP1）和第二镜装置（SP2），所述第一镜装置和所述第二镜装置以第一间距（d12）彼此被隔开，其中所述第一镜装置（SP1）和/或所述第二镜装置（SP2）是能运动的，使得所述间距（d12）是可变的；基板（2），其中所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）叠置地布置在所述基板（2）的光学区域（OB）中，并且其中所述光学区域（OB）包括用于被所述第一镜装置（SP1）和所述第二镜装置（SP2）允许透过的电磁辐射（L）的第一辐射区域（AB1）和第二辐射区域（AB2），所述第一辐射区域和所述第二辐射区域侧向地并排延伸；滤波装置（F），该滤波装置布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中并且借助于该滤波装置能够确定用于所述电磁辐射（L）的波长的、依赖于第一间距（d12）的透过特征；以及探测器装置（3），该探测器装置具有布置在所述第一辐射区域（AB1）的光路中的第一探测器区域（D1）和布置在所述第二辐射区域（AB2）的光路中的第二探测器区域（D2），其中所述探测器装置（3）被设立用于在所述第一探测器区域（D1）中探测来自所述第一和第二镜装置（SP1、SP2）的第一电磁辐射并且在所述第二探测器区域（D2）中探测来自所述滤波装置（F）的第二电磁辐射（St2）。
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