公开(公告)号：CN107720686A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201710680047.0

申请日：2017-08-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·布莱特林 ,  C·施文克 ,  H·屈佩尔斯 ,  N·席滕黑尔姆 ,  V·施米茨

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/0038 ,  B81B7/0041 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00285 ,  G01C19/5783 ,  G01P3/00 ,  G01P15/00 ,  G01P15/0802 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/025 ,  B81B2203/0315

Abstract: 提出一种具有主延伸平面的微机械结构元件，其中，所述微机械结构元件包围第一空腔并且包围第二空腔，其中，在所述第一空腔中存在第一压力并且在所述第二空腔中存在第二压力，其中，微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第一层在所述第一空腔与所述第二空腔之间基本上垂直于主延伸平面地伸入微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第二层中。

公开(公告)号：CN107720686B

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN201710680047.0

申请日：2017-08-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·布莱特林 ,  C·施文克 ,  H·屈佩尔斯 ,  N·席滕黑尔姆 ,  V·施米茨

IPC: B81B7/00

Abstract: 提出一种具有主延伸平面的微机械结构元件，其中，所述微机械结构元件包围第一空腔并且包围第二空腔，其中，在所述第一空腔中存在第一压力并且在所述第二空腔中存在第二压力，其中，微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第一层在所述第一空腔与所述第二空腔之间基本上垂直于主延伸平面地伸入微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第二层中。

公开(公告)号：CN107055458B

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN201611233685.X

申请日：2016-12-28

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： N·席滕黑尔姆 ,  C·格克勒 ,  S·京特

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 用于微机械构件(100)的吸气装置(30)，所述吸气装置具有：‑金属吸气结构，该金属吸气结构在所述微机械构件(100)的空腔中布置；‑其中，所述吸气结构能够借助于限定的电流加热，其中，所述吸气结构的材料能够被限定地蒸发。

公开(公告)号：CN107055458A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611233685.X

申请日：2016-12-28

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： N·席滕黑尔姆 ,  C·格克勒 ,  S·京特

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/0038 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00285 ,  B81C2203/0163 ,  B81B2201/0228 ,  B81C1/00015

Abstract: 用于微机械构件(100)的吸气装置(30)，所述吸气装置具有：‑金属吸气结构，该金属吸气结构在所述微机械构件(100)的空腔中布置；‑其中，所述吸气结构能够借助于限定的电流加热，其中，所述吸气结构的材料能够被限定地蒸发。