公开(公告)号：CN109155881A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780028819.0

申请日：2017-05-10

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： M.泽莱茨尼克 ,  A.卡施纳

IPC分类号： H04R1/04 ,  H04R3/00 ,  H04R19/00 ,  H04R19/04

CPC分类号： H04R1/04 ,  H04R3/00 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R2460/03

摘要： 提供了MEMS传感器系统和操作的方法。MEMS传感器系统包括具有可移动构件的传感器设备和传感器电路，所述传感器电路将传感器设备通信地耦合到至少一个或多个端子。传感器电路包括传感器ASIC和模拟信号处理器，所述模拟信号处理器耦合到传感器ASIC、传感器设备和端子中的至少一个。传感器ASIC被配置为在检测到音频信号之后以全性能模式操作，或者当没有检测到音频信号时以较低功率模式操作。耦合到传感器设备的前置放大器被配置为输出信号，所述信号指示提供在可移动构件上的声压。传感器电路还包括通信地耦合到前置放大器的西格马-德耳塔调制器。当模拟信号处理器检测到目标音频信号时，向传感器ASIC发送控制信号来将前置放大器设置为全性能模式并且使西格马-德耳塔转换器通电。当模拟信号处理器没有检测到目标音频信号时，到传感器ASIC的控制信号将前置放大器设置为低性能模式并使西格马-德耳塔转换器断电。传感器ASIC和音频信号处理器可以在三维芯片堆叠配置中或集成在一起以形成单个传感器电路。