用于评估传感器的状态的方法以及传感器系统和用于运行传感器系统的方法

    公开(公告)号:CN116075696A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202180057474.8

    申请日:2021-07-15

    Abstract: 本发明涉及一种用于评估传感器的状态的方法,其中,所述传感器具有能偏转的微机械传感器结构,所述微机械传感器结构用于探测物理输入参量并且用于将所述物理输入参量转化为电传感器信号,其中,所述传感器的环境介质直接或间接对所述微机械传感器结构起作用,其中,借助激励信号能使所述微机械传感器结构偏转,所述方法包括以下步骤:·借助驱动器单元生成激励信号,其中,所述激励信号至少具有幅度变化;·将所述激励信号输出到所述微机械传感器结构,·通过所述激励信号使所述微机械传感器结构偏转,·检测所述微机械传感器结构响应于所述激励信号的响应行为,·将所述响应行为与参考行为进行比较,以确定所述响应行为相对于所述参考行为的偏差度量,并且·基于所述偏差度量在沉积物的存在方面评估所述传感器的状态。本发明还涉及一种传感器系统和一种用于运行传感器系统的方法。

    传感器系统和用于运行传感器系统的方法

    公开(公告)号:CN109691030B

    公开(公告)日:2021-09-07

    申请号:CN201780054607.X

    申请日:2017-07-31

    Abstract: 本发明公开一种传感器系统(1,11),该传感器系统具有检测装置(2,12)和通信接口(5,15),所述检测装置构造用于检测至少一个物理参量(3,13)并且输出相应的测量值(4,14);所述通信接口具有通信装置(6,16)并且构造用于至少在正常运行模式中输出所检测的测量值(4,14),并且所述通信接口构造用于接收数据信号(7,17),所述数据信号具有时钟信号(8,18),其中,所述通信装置(6,16)构造用于在节能运行模式中使用所述时钟信号(8,18)作为运行时钟(22)。此外,本发明公开一种相应的方法。

    压力传感器和用于运行压力传感器的方法

    公开(公告)号:CN114964568A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210184071.6

    申请日:2022-02-23

    Abstract: 压力传感器至少包括:微机械传感器元件,其具有至少一个压力敏感的膜片,所述膜片跨越基体材料中的空腔具有膜片电极。固定的对电极布置在所述空腔内并与膜片电极形成用于检测第一测量压力的第一测量电容。参考电容布置在空腔内并且包括至少一个第一和第二固定参考电极。压力传感器能够在至少一个第一运行模式中运行,在其中第一测量电容和第一参考电容在第一桥式电路中互连。压力传感器能够在至少一个第二运行模式中运行,在至少一个第二运行模式中膜片电极、对电极和参考电极如此地彼此互连,使得膜片电极与至少一个第一参考电极共同形成用于检测第二测量压力的第二测量电容。

    传感器装置和用于运行传感器装置的方法

    公开(公告)号:CN111587579A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201880086170.2

    申请日:2018-12-28

    Abstract: 本发明涉及一种传感器装置,具有:a.传感器元件,用于感测呈电传感器信号形式的至少一个测量参量;b.电路装置,用于运行传感器装置并基于传感器信号产生传感器数据;c.用于配置数据的配置数据存储器,其中,传感器装置能够交替地在不同的运行模式中运行,具体说至少在活跃模式中和睡眠模式中,在活跃模式中产生传感器数据,在睡眠模式中不产生传感器数据并且传感器装置的至少一个部分切换至无电流,其中,这样设计电路装置,使得配置数据存储器的存储内容与传感器装置的相应运行模式无关,从而所存储的配置数据在睡眠模式中得以保留,并且,这样设计传感器装置,使得当发起向活跃模式的转换时基于所存储的配置数据重新配置在睡眠模式中切换至无电流的部分。

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