用于探测MEMS传感器的污染的方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119492410A

    公开(公告)日:2025-02-21

    申请号:CN202411128697.0

    申请日:2024-08-16

    Abstract: 本发明涉及一种在使用加热装置的情况下探测传感器模块的微机电传感器污染的方法,所述传感器模块具有与加热装置和微机电传感器间隔开布置的温度传感器。设置,传感器被加热装置加热,这被温度传感器测量。进一步,通过传感器在不同时间测量物理量。基于在不同时间测得的温度来补偿测得的物理量,其中,基于补偿后的物理量和不同时间之间的温度差求取,所述微机电传感器是无污染还是具有污染。本发明还涉及一种用于探测传感器模块的微机电传感器污染的系统、一种计算机程序和一种机器可读的存储介质。

    压力传感器和用于运行压力传感器的方法

    公开(公告)号:CN114964568A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210184071.6

    申请日:2022-02-23

    Abstract: 压力传感器至少包括:微机械传感器元件,其具有至少一个压力敏感的膜片,所述膜片跨越基体材料中的空腔具有膜片电极。固定的对电极布置在所述空腔内并与膜片电极形成用于检测第一测量压力的第一测量电容。参考电容布置在空腔内并且包括至少一个第一和第二固定参考电极。压力传感器能够在至少一个第一运行模式中运行,在其中第一测量电容和第一参考电容在第一桥式电路中互连。压力传感器能够在至少一个第二运行模式中运行,在至少一个第二运行模式中膜片电极、对电极和参考电极如此地彼此互连,使得膜片电极与至少一个第一参考电极共同形成用于检测第二测量压力的第二测量电容。

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