公开(公告)号：CN119020036A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202410615785.7

申请日：2024-05-17

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 闵庚石 ,  金荣文 ,  卢收练 ,  吴知秀 ,  金光培 ,  李哲熙

IPC: C09K13/00 ,  H01L21/768

Abstract: 一种蚀刻气体组合物，所述蚀刻气体组合物包含有机氟化合物和二硫化碳。

公开(公告)号：CN119020037A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202410647173.6

申请日：2024-05-23

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 闵庚石 ,  金鎭泳 ,  金荣文 ,  卢收练 ,  吴知秀 ,  金光培 ,  李哲熙

IPC: C09K13/00 ,  H01L21/311

Abstract: 本申请提供一种蚀刻气体组合物及使用所述组合物制造集成电路器件的方法，其中所述蚀刻气体组合物包含有机氟化合物和氟化钨。