公开(公告)号：CN101671837A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910171686.X

申请日：2009-09-07

申请人： 索尼株式会社

发明人： 村濑英寿 ,  佐佐木良成 ,  阿苏幸成 ,  城崎友秀 ,  冲野节雄

IPC分类号： C25D1/10 ,  B23K26/36 ,  B29C59/04 ,  G02F1/1335

CPC分类号： B29C59/16 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0823 ,  B23K26/083 ,  B23K26/14 ,  B23K26/16 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  B29C59/04 ,  B29C2059/023 ,  B29C2791/009 ,  C25D1/10 ,  Y10T428/24479

摘要： 本发明披露了一种模具制造方法、一种功能膜及其制造方法。该模具制造方法包括以下步骤：通过激光加工而在圆柱形树脂原板的加工表面上形成图案；以及通过使用形成有图案的树脂原板的电铸法来制造圆柱形模具。

公开(公告)号：CN100524682C

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN03131491.0

申请日：1997-06-20

申请人： 索尼株式会社

发明人： 平野信介 ,  城崎友秀

IPC分类号： H01L21/68 ,  H02N13/00 ,  B25B11/00

CPC分类号： H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23

摘要： 一种静电吸盘装置，包括：在其上吸引及支持晶片的静电吸盘；用于检测所述静电吸盘温度的温度检测装置；与所述静电吸盘相连的电源，所述电源施加直流电压到所述静电吸盘上使所述静电吸盘具有吸引力；反向装置，它将作为反向电压施加到所述静电吸盘上的所述直流电压的极性反向；及反向电压确定装置，当所述直流电压极性反向时，它根据已检测的所述静电吸盘的所述温度确定所述反向电压的值。

公开(公告)号：CN101671837B

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200910171686.X

申请日：2009-09-07

申请人： 索尼株式会社

发明人： 村濑英寿 ,  佐佐木良成 ,  阿苏幸成 ,  城崎友秀 ,  冲野节雄

IPC分类号： C25D1/10 ,  B23K26/36 ,  B29C59/04 ,  G02F1/1335

CPC分类号： B29C59/16 ,  B23K26/066 ,  B23K26/0823 ,  B23K26/083 ,  B23K26/14 ,  B23K26/16 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50 ,  B29C59/04 ,  B29C2059/023 ,  B29C2791/009 ,  C25D1/10 ,  Y10T428/24479

摘要： 本发明披露了一种模具制造方法、一种功能膜及其制造方法。该模具制造方法包括以下步骤：通过激光加工而在圆柱形树脂原板的加工表面上形成图案；以及通过使用形成有图案的树脂原板的电铸法来制造圆柱形模具。

公开(公告)号：CN1516256A

公开(公告)日：2004-07-28

申请号：CN03131491.0

申请日：1997-06-20

申请人： 索尼株式会社

发明人： 平野信介 ,  城崎友秀

IPC分类号： H01L21/68 ,  H02N13/00 ,  B25B11/00

CPC分类号： H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23

摘要： 一种静电吸盘装置，包括：在其上吸引及支持晶片的静电吸盘；用于检测所述静电吸盘温度的温度检测装置；与所述静电吸盘相连的电源，所述电源施加直流电压到所述静电吸盘上使所述静电吸盘具有吸引力；反向装置，它将作为反向电压施加到所述静电吸盘上的所述直流电压的极性反向；及反向电压确定装置，当所述直流电压极性反向时，它根据已检测的所述静电吸盘的所述温度确定所述反向电压的值。

公开(公告)号：CN1153343C

公开(公告)日：2004-06-09

申请号：CN97113905.9

申请日：1997-06-20

申请人： 索尼株式会社

发明人： 平野信介 ,  城崎友秀

IPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23

摘要： 静电吸盘装置2，包括静电吸盘4、用于检测静电吸盘4的温度的温度检测单元10、与静电吸盘4相连且用于施加直流电压到静电吸盘4以使其具有吸引力的电源9，及根据温度检测单元10检测的静电吸盘的温度来控制电源9施加的直流电压值的控制器11。当温度检测单元10检测的静电吸盘4的温度比预设值高时，控制器11使电源9施加的电压值低于预设值；当静电吸盘4的温度比预设值低时，控制器使施加电压高于预设值，因此可将静电吸盘4的吸引力保持为与静电吸盘4的温度变化无关。

公开(公告)号：CN1174446A

公开(公告)日：1998-02-25

申请号：CN97113905.9

申请日：1997-06-20

申请人： 索尼株式会社

发明人： 平野信介 ,  城崎友秀

IPC分类号： H02N13/00 ,  H01L21/68

CPC分类号： H01L21/67248 ,  H01L21/6831 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23

摘要： 静电吸盘装置2,包括静电吸盘4、用于检测静电吸盘4的温度的温度检测单元10、与静电吸盘4相连且用于施加直流电压到静电吸盘4以使其具有吸引力的电源9,及根据温度检测单元10检测的静电吸盘的温度来控制电源9施加的直流电压值的控制器11。当温度检测单元10检测的静电吸盘4的温度比预设值高时,控制器11使电源9施加的电压值低于预设值;当静电吸盘4的温度比预设值低时,控制器使施加电压高于预设值,因此可将静电吸盘4的吸引力保持为与静电吸盘4的温度变化无关。