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公开(公告)号：CN106716094A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580053508.0
申请日：2015-09-28
申请人： 国立大学法人东京大学 , 精工电子有限公司
摘要： 本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。
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公开(公告)号：CN106716094B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580053508.0
申请日：2015-09-28
申请人： 国立大学法人东京大学 , 精工电子有限公司
摘要： 本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。
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公开(公告)号：CN103868816B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201310669620.X
申请日：2013-12-10
申请人： 精工电子有限公司
IPC分类号： G01N5/02
CPC分类号： G01N29/022 , G01N2291/02818
摘要： 提供一种QCM传感器，当想要在试样气氛中测定试样的物理量时，也能够高精度地检测测定试样的物理量。本发明的QCM传感器通过使试样与形成在石英振子表面的激励电极接触来检测试样的物理量，其特征在于，该QCM传感器具有：测定用石英振子，其具有作为检测对象的测定试样能够接触的第1电极和表面形成第1电极的第1石英基板；基准用石英振子，其具有作为检测测定试样的物理量时的基准的基准试样能够接触的第2电极和表面形成第2电极的第2石英基板；外壳，其收纳测定用石英振子和基准用石英振子；以及密封部，其在使基准试样与第2电极接触的状态下进行封闭。
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公开(公告)号：CN104350373A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201380029667.8
申请日：2013-05-21
申请人： 精工电子有限公司
CPC分类号： G01N29/022 , G01N5/02 , G01N9/34 , G01N11/16 , G01N29/028 , G01N2291/022 , G01N2291/0256 , G01N2291/02818 , G01N2291/0422 , G01N2291/0426 , H01L41/047 , H03H9/15 , H03H9/177 , H03H9/25
摘要： 压电单元（1）的特征在于，包括：激励厚度滑移振动的压电元件；在压电元件的单面所具备的第1电极；在与压电元件的具备第1电极的面相反一侧的面所具备的互相电绝缘的第2电极及第3电极；以及与第1电极、第2电极及第3电极连接的切换器，切换器能够切换到质量/粘弹性测定模式和电特性测定模式的任一模式，该质量/粘弹性测定模式通过使压电元件振动来测定与压电元件接触的物质的质量或粘弹性，该电特性测定模式测定所述第2电极与所述第3电极的电极间的电特性。
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公开(公告)号：CN107076628B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201580051452.5
申请日：2015-08-18
申请人： 精工电子有限公司
摘要： 本发明提供能够高精度地检测测定对象的压力相对于时间轴的变化的压力变化测定装置和压力变化测定方法。具体而言，压力变化测定装置(1)所具有的基准值设定部(60)根据规定状态下的差压计测用悬臂(4)的输出信号，生成基准值信号并进行输出。运算处理部(30)根据该输出信号、该基准值信号、腔室(10)的容积、在腔室(10)内外流通的压力传递介质的规定时间单位的流通量等，计算测定对象压力的压力变化。
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公开(公告)号：CN106471349A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201480080125.8
申请日：2014-06-25
申请人： 精工电子有限公司
CPC分类号： G01L23/10 , G01L9/0002 , G01L9/0052
摘要： 压力变化测量装置(1)所具有的运算处理部(4)的输出信号，求出腔室(10)的内部压力与测量对象压力的差压；测量对象压力计算部，其根据设定的腔室(10)的内部压力、与由差压计算部计算出的差压，计算测量对象压力；流量计算部，其根据由差压计算部计算出的差压，计算在腔室(10)内外流通的压力传递介质在规定的时间单位的流通量；以及内压更新部，其根据腔室(10)的容积、和由流量计算部计算出的流通量，计算规定的时间后的腔室(10)的内部压力，利用该计算出的内部压力，对在测量对象压力计算部中使用的腔室(10)的内部压力的设定值进行更新。(30)具有：差压计算部，其根据差压计测用悬臂
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公开(公告)号：CN103868816A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201310669620.X
申请日：2013-12-10
申请人： 精工电子有限公司
IPC分类号： G01N5/02
CPC分类号： G01N29/022 , G01N2291/02818
摘要： 提供一种QCM传感器，当想要在试样气氛中测定试样的物理量时，也能够高精度地检测测定试样的物理量。本发明的QCM传感器通过使试样与形成在石英振子表面的激励电极接触来检测试样的物理量，其特征在于，该QCM传感器具有：测定用石英振子，其具有作为检测对象的测定试样能够接触的第1电极和表面形成第1电极的第1石英基板；基准用石英振子，其具有作为检测测定试样的物理量时的基准的基准试样能够接触的第2电极和表面形成第2电极的第2石英基板；外壳，其收纳测定用石英振子和基准用石英振子；以及密封部，其在使基准试样与第2电极接触的状态下进行封闭。
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公开(公告)号：CN104350373B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201380029667.8
申请日：2013-05-21
申请人： 精工电子有限公司
CPC分类号： G01N29/022 , G01N5/02 , G01N9/34 , G01N11/16 , G01N29/028 , G01N2291/022 , G01N2291/0256 , G01N2291/02818 , G01N2291/0422 , G01N2291/0426 , H01L41/047 , H03H9/15 , H03H9/177 , H03H9/25
摘要： 压电单元（1）的特征在于，包括：激励厚度滑移振动的压电元件；在压电元件的单面所具备的第1电极；在与压电元件的具备第1电极的面相反一侧的面所具备的互相电绝缘的第2电极及第3电极；以及与第1电极、第2电极及第3电极连接的切换器，切换器能够切换到质量/粘弹性测定模式和电特性测定模式的任一模式，该质量/粘弹性测定模式通过使压电元件振动来测定与压电元件接触的物质的质量或粘弹性，该电特性测定模式测定所述第2电极与所述第3电极的电极间的电特性。
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公开(公告)号：CN107076628A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580051452.5
申请日：2015-08-18
申请人： 精工电子有限公司
摘要： 本发明提供能够高精度地检测测定对象的压力相对于时间轴的变化的压力变化测定装置和压力变化测定方法。具体而言，压力变化测定装置(1)所具有的基准值设定部(60)根据规定状态下的差压计测用悬臂(4)的输出信号，生成基准值信号并进行输出。运算处理部(30)根据该输出信号、该基准值信号、腔室(10)的容积、在腔室(10)内外流通的压力传递介质的规定时间单位的流通量等，计算测定对象压力的压力变化。
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公开(公告)号：CN1763988A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510116575.0
申请日：2005-08-17
申请人： 精工电子有限公司
IPC分类号： H01L51/00
CPC分类号： H01L51/5253 , H01L51/5246
摘要： 一种制造方法其利用非常薄的基底使得有机电子设备容易地制造。该制造方法包括用于打磨基底第一表面的第一步骤，在第一表面上施加保护性聚合物层的第二步骤，通过蚀刻基底第一表面背面的第二表面使得基底变薄的第三步骤，在蚀刻的第二表面上施加含有聚合物材料的聚合物层的第四步骤，去除保护性聚合物层的第五步骤，和在去除保护性聚合物层的第一表面上形成有机电子设备的第六步骤。
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