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公开(公告)号：CN107076628A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580051452.5
申请日：2015-08-18
申请人： 精工电子有限公司
摘要： 本发明提供能够高精度地检测测定对象的压力相对于时间轴的变化的压力变化测定装置和压力变化测定方法。具体而言，压力变化测定装置(1)所具有的基准值设定部(60)根据规定状态下的差压计测用悬臂(4)的输出信号，生成基准值信号并进行输出。运算处理部(30)根据该输出信号、该基准值信号、腔室(10)的容积、在腔室(10)内外流通的压力传递介质的规定时间单位的流通量等，计算测定对象压力的压力变化。
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公开(公告)号：CN103782501B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201280044330.X
申请日：2012-05-16
申请人： 精工电子有限公司
摘要： 在装戴于活体的状态下，抑制发电效率的下降，确保期望的发电量。热发电便携设备(10)被装戴于活体，能利用该活体的热来发电，包括：热发电部件(20)，基于热源即活体与来自热发电便携设备(10)的散热的散热目的地之间的、热源侧位置的温度与散热目的地侧位置的温度的温差来进行发电；可动部件(22)，能变更活体与散热目的地之间的传热路径的至少一部分的热阻。可动部件(22)能围绕旋转轴(22a)旋转、或者能在预定方向滑动移动，随着旋转或者滑动移动，能通过对于传热路径有无干扰、或者对传热路径进行干扰的位置发生变化，来变更传热路径的至少一部分的热阻。
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公开(公告)号：CN106716094B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201580053508.0
申请日：2015-09-28
申请人： 国立大学法人东京大学 , 精工电子有限公司
摘要： 本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。
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公开(公告)号：CN103782501A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201280044330.X
申请日：2012-05-16
申请人： 精工电子有限公司
摘要： 在装戴于活体的状态下，抑制发电效率的下降，确保期望的发电量。热发电便携设备(10)被装戴于活体，能利用该活体的热来发电，包括：热发电部件(20)，基于热源即活体与来自热发电便携设备(10)的散热的散热目的地之间的、热源侧位置的温度与散热目的地侧位置的温度的温差来进行发电；可动部件(22)，能变更活体与散热目的地之间的传热路径的至少一部分的热阻。可动部件(22)能围绕旋转轴(22a)旋转、或者能在预定方向滑动移动，随着旋转或者滑动移动，能通过对于传热路径有无干扰、或者对传热路径进行干扰的位置发生变化，来变更传热路径的至少一部分的热阻。
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公开(公告)号：CN106716094A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580053508.0
申请日：2015-09-28
申请人： 国立大学法人东京大学 , 精工电子有限公司
摘要： 本发明为具备以下部分的压力传感器（1）：具有空腔的传感器主体（2）、具有杆主体（20）和杆支承部（21A、21B）并且根据空腔与传感器主体（2）的外部的压力差进行弯曲变形的悬臂（3）、以及基于形成于杆主体（20）的主体电阻部（31）和形成于杆支承部（21A、21B）的杆电阻部（32）的电阻值变化来对悬臂（3）的移位进行检测的移位检测部（4）。在杆支承部（21A）形成有划分槽（40），所述划分槽将杆电阻部（32）划分为与检测电极（35）串联电连接的第一电阻部（32a）和位于与第一电阻部（32a）相比靠相邻的其他的杆支承部（21B）的第二电阻部（32b）。杆支承部（21A、21B）的第一电阻部（32a）经由经由了主体电阻部（31）的第一路径（S1）和经由了第二电阻部（32b）的第二路径S2的并联路径与检测电极（35）电连接。
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公开(公告)号：CN103308246B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310073745.6
申请日：2013-03-08
申请人： 精工电子有限公司
IPC分类号： G01L13/06
CPC分类号： G01L13/02 , G01L9/0019
摘要： 本发明的压力传感器包括检测第一压力变动传感器(P1)（11a）和第二压力变动传感器(P2)（11b）的输出的差值的检测电路。关于第一压力变动传感器(P1)（11a）与第二压力变动传感器(P2)（11b），使相互的间隙（23）的距离（G）相同，通过使第一压力变动传感器(P1)（11a）的腔（21）的容量（V1）比第二压力变动传感器(P2)（11b）的腔（21）的容量（V2）大，从而具有互不相同的频率特性、例如互不相同的截止频率（fc1、fc2(＞fc1)）。从而，降低检测误差和扰动所导致的振动等，并且得到期望的频率特性。
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公开(公告)号：CN103308247B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201310073801.6
申请日：2013-03-08
申请人： 精工电子有限公司
IPC分类号： G01L13/06
CPC分类号： G01L13/02 , G01L9/0019 , G01L9/0055 , G01L19/0038
摘要： 本发明的压力传感器（10）包括检测第一压力变动传感器(P1)（11a）和第二压力变动传感器(P2)（11b）的输出的差值的检测电路。第一压力变动传感器(P1)（11a）和第二压力变动传感器(P2)（11b），作为至少根据腔（21）的容量（V）或者间隙（23）的距离（G）而在实效上相同的频率特性，具有灵敏度为既定值以上的下限频率。第一压力变动传感器(P1)（11a）的间隙（23）将压力传感器（10）的外部与第一压力变动传感器(P1)（11a）的腔（21）的内部连通，第二压力变动传感器(P2)（11b）的间隙（23）将第一压力变动传感器(P1)（11a）的腔（21）的内部与第二压力变动传感器(P2)（11b）的腔（21）的内部连通。从而，降低检测误差和扰动所导致的振动等，得到期望的频率特性。
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公开(公告)号：CN104272074A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380022589.9
申请日：2013-03-19
申请人： 精工电子有限公司 , 国立大学法人东京大学
CPC分类号： G01L1/16 , G01L1/10 , G01L9/0002 , G01L9/0045 , G01L9/008 , G01L13/06 , G01L23/04
摘要： 该压力传感器具备：传感器主体，具有第一面和在所述第一面具有开口的空腔；悬臂，具有支撑在所述第一面上的基端部、以及在所述开口的内侧在与所述开口的周缘之间以形成间隙的方式而配设的前端部，所述悬臂由按照所述空腔的内部和外部的压力差而弯曲变形的半导体材料形成；以及位移测定部，以比按照用G表示所述间隙的宽度（μm）、用V表示所述空腔的容积（ml）、用k表示比例常数的下述式（1）而规定的下限频率fLOW（Hz）更大的频率、测定按照所述压力差而振动的所述悬臂的位移。。
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公开(公告)号：CN107076628B
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201580051452.5
申请日：2015-08-18
申请人： 精工电子有限公司
摘要： 本发明提供能够高精度地检测测定对象的压力相对于时间轴的变化的压力变化测定装置和压力变化测定方法。具体而言，压力变化测定装置(1)所具有的基准值设定部(60)根据规定状态下的差压计测用悬臂(4)的输出信号，生成基准值信号并进行输出。运算处理部(30)根据该输出信号、该基准值信号、腔室(10)的容积、在腔室(10)内外流通的压力传递介质的规定时间单位的流通量等，计算测定对象压力的压力变化。
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公开(公告)号：CN106471349A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201480080125.8
申请日：2014-06-25
申请人： 精工电子有限公司
CPC分类号： G01L23/10 , G01L9/0002 , G01L9/0052
摘要： 压力变化测量装置(1)所具有的运算处理部(4)的输出信号，求出腔室(10)的内部压力与测量对象压力的差压；测量对象压力计算部，其根据设定的腔室(10)的内部压力、与由差压计算部计算出的差压，计算测量对象压力；流量计算部，其根据由差压计算部计算出的差压，计算在腔室(10)内外流通的压力传递介质在规定的时间单位的流通量；以及内压更新部，其根据腔室(10)的容积、和由流量计算部计算出的流通量，计算规定的时间后的腔室(10)的内部压力，利用该计算出的内部压力，对在测量对象压力计算部中使用的腔室(10)的内部压力的设定值进行更新。(30)具有：差压计算部，其根据差压计测用悬臂
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