处理室装置及其大气置换方法及包括该装置的电光学装置

    公开(公告)号:CN1438824A

    公开(公告)日:2003-08-27

    申请号:CN03102540.4

    申请日:2003-02-09

    Inventor: 林高之

    CPC classification number: H05B33/10 H01L51/0004

    Abstract: 本发明提供一种可以在短时间内对处理室内的惰性气体和大气进行有效置换的处理室装置的大气置换方法、处理室装置、包括该处理室装置的电光学装置以及有机EL装置。是将构成处理室(11)内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置(3)的大气置换方法,开放处理室(11)的排气通道(102),同时关闭惰性气体的气体供给通道(138),强制向处理室(11)内送入外部气体,将处理室(11)内的惰性气体和外部气体置换。

    力检测装置、驱动单元及机器人

    公开(公告)号:CN107877545B

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN201710806850.4

    申请日:2017-09-08

    Inventor: 林高之

    Abstract: 本发明提供能够实现具有力检测装置和驱动装置的单元的小型化的力检测装置,并提供具备该力检测装置的驱动单元和机器人。一种力检测装置,具备:第一部件,构成驱动装置的一部分,所述驱动装置进行驱动力的产生和传递中的至少一者;第二部件;以及压电元件,配置于所述第一部件和所述第二部件之间,并根据外力输出信号。

    处理室装置及其大气置换方法及包括该装置的制造光电器件的设备

    公开(公告)号:CN1271890C

    公开(公告)日:2006-08-23

    申请号:CN03102540.4

    申请日:2003-02-09

    Inventor: 林高之

    CPC classification number: H05B33/10 H01L51/0004

    Abstract: 本发明提供一种可以在短时间内对处理室内的惰性气体和大气进行有效置换的处理室装置的大气置换方法、处理室装置、包括该处理室装置的制造光电器件的设备以及有机EL装置。是将构成处理室(11)内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置(3)的大气置换方法,开放处理室(11)的排气通道(102),同时关闭惰性气体的气体供给通道(138),强制向处理室(11)内送入外部气体,将处理室(11)内的惰性气体和外部气体置换。

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