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公开(公告)号：CN100420524C
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200610091240.2
申请日：2006-06-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B05C5/02 , B05C11/10 , B05B13/02 , B05B15/00 , G02F1/13 , G02B5/20 , H05B33/10 , H05B33/14 , B05D1/26
CPC classification number: H01L51/0004 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供能缩短整体描绘时间、并且能防止可在所形成的膜上产生不匀的现象的液滴喷出方法、喷头单元、液滴喷出装置、电光学装置以及电子设备。在通过喷嘴(118)遍及整体来覆盖各喷出部(18)时，从与该被喷出部(18)平面重叠的喷嘴(118)喷出液体材料(111)的液滴，而在只覆盖例如被喷出部(18)的一部分的情况不喷出液体材料(111)，从而可以防止在被喷出部(18)上产生不匀。由此，能实现在基板整体上使液体材料的不匀不明显。
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公开(公告)号：CN1966267A
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：CN200610146443.7
申请日：2006-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 长江信明
CPC classification number: H04N1/4015 , G02B5/201 , G02F1/133512 , G02F1/133514
Abstract: 一种喷出图案数据修正方法，包括：计算工序，针对以矩阵状划分了工件上的图案绘制区域的多个假想分割部位，分别计算出基于图案绘制处理赋予的功能液赋予量；数据生成工序，生成分别以多灰度表现了针对多个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据；灰度处理工序，通过将矩阵数据n值化(n≥2)，生成n值化矩阵数据；和数据修正工序，对喷出图案数据进行修正，以使在针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“大”侧的各个假想分割部位，减少功能液赋予量，和针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“小”侧的各个假想分割部位，增加功能液赋予量的处理中，至少进行任意一方的处理。
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公开(公告)号：CN100551699C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200610146443.7
申请日：2006-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 长江信明
CPC classification number: H04N1/4015 , G02B5/201 , G02F1/133512 , G02F1/133514
Abstract: 一种喷出图案数据修正方法，包括：计算工序，针对以矩阵状划分了工件上的图案绘制区域的多个假想分割部位，分别计算出基于图案绘制处理赋予的功能液赋予量；数据生成工序，生成分别以多灰度表现了针对多个假想分割部位的功能液赋予量的矩阵数据；灰度处理工序，通过将矩阵数据n值化(n≥2)，生成n值化矩阵数据；和数据修正工序，对喷出图案数据进行修正，以使在针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“大”侧的各个假想分割部位，减少功能液赋予量，和针对n值化矩阵数据的各个n值化数据表示功能液赋予量“小”侧的各个假想分割部位，增加功能液赋予量的处理中，至少进行任意一方的处理。
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公开(公告)号：CN100444703C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200510004356.3
申请日：2005-01-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 长江信明
CPC classification number: B41J29/393 , B41J2202/09 , H04R1/06 , H04R9/06 , H04R31/006 , H04R2201/34 , H04R2400/11
Abstract: 一种在基片上形成图案的方法，包括步骤：将来自具有喷嘴的喷射头的液滴喷射到基准板上，基于多个标记在基准板上限定多个目标位置，所述标记设置在基准板上，在所述基准板上标记之间的间距与喷射头的喷嘴之间的间距的倍数匹配，目标位置被设置在至少一行中；检测目标位置和液滴实际着陆的位置之间的位移量，从而获得包括着陆到基准板上的液滴和多个标记的图像，且基于所述图像确定目标位置和液滴实际着陆的位置之间的位移量；基于所述位移量，对至少一行的目标位置的每一个确定相对于喷射头的相对位置误差；基于所述相对位置误差对至少一行的每一个目标位置确定校正值；并当将液滴喷射到基片上时，基于所述校正值顺序改变基片和喷射头的相对位置。
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公开(公告)号：CN1883821A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610094019.2
申请日：2006-06-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供可抑制不同种类的功能液彼此混合的液滴喷出方法、电光学装置及电子设备。由于在整体喷出扫描以外的扫描中，进行以避开被喷出部(18)的周缘部(18Q)的方式喷出液体材料(111)的部分喷出扫描，所以，可防止液体材料(111)的液滴弹落于被喷出部(18)的周缘部(18Q)。由此，可防止液体材料(111)从被喷出部(18)的周缘部(18Q)溅出，结果，可大幅度减少从被喷出部(18)溅出的液体材料(111)自身，因此，可抑制红色液体材料(111R)、绿色液体材料(111G)、蓝色液体材料(111B)的分别混合。
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公开(公告)号：CN1876245A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610091240.2
申请日：2006-06-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L51/0004 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供能缩短整体描绘时间、并且能防止可在所形成的膜上产生不匀的现象的液滴喷出方法、喷头单元、液滴喷出装置、电光学装置以及电子设备。在通过喷嘴(118)遍及整体来覆盖各喷出部(18)时，从与该被喷出部(18)平面重叠的喷嘴(118)喷出液体材料(111)的液滴，而在只覆盖例如被喷出部(18)的一部分的情况不喷出液体材料(111)，从而可以防止在被喷出部(18)上产生不匀。由此，能实现在基板整体上使液体材料的不匀不明显。
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