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公开(公告)号：CN100515777C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200710109935.3
申请日：2007-06-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/20 , B41J2/14233 , B41J2002/14491 , B41J2202/11 , H01L41/0973
Abstract: 提供一种维持驱动耐久性、提高液体喷射特性的驱动装置及液体喷头。驱动装置具有由设置在基板(10)一面上的下电极(60)、压电体层(70)及上电极(80)构成的多个压电元件(300)，并且所述下电极(60)跨多个所述压电元件(300)而形成，在所述下电极(60)的相互邻接的所述压电元件(300)间的区域设置厚度比设置在所述压电元件(300)上的区域薄的薄壁部(61)，并且在所述薄壁部(61)的与所述压电元件(300)的边界部分设置凹部(62)，该凹部(62)的内面及该凹部(62)的与所述压电元件(300)相反侧的开口缘部形成为曲面状。
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公开(公告)号：CN101544113A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910127099.0
申请日：2009-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岛田胜人
IPC: B41J2/14
Abstract: 提供一种提高了压电元件的变位特性而能够实现高速驱动并能够抑制压电体层的破坏而提高了耐久性的液体喷射头、液体喷射装置以及执行器。压电体层的端面由以下电极侧的端部比上电极侧的端部更靠外侧的方式倾斜的倾斜面构成，构成各个压电元件的下电极以比压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且压电体层以比下电极的宽度宽的宽度形成，该下电极的端面被该压电体层覆盖，振动板的最表层由绝缘体膜构成，该绝缘体膜由氧化钛(TiOx)形成，下电极的最表层由取向控制层构成，该取向控制层由镍酸镧(LaNiyOx)形成，并且取向控制层和至少取向控制层上的压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，并且晶面方向沿(113)优先取向。
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公开(公告)号：CN100395109C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN03821481.4
申请日：2003-07-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1606 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种可以将液体喷出特性长期维持一定并且防止喷嘴堵塞的液体喷射头及其制造方法以及液体喷射装置。在具备由单晶硅基板制成并形成有与喷嘴开口连通的压力发生室(12)的流路形成基板(10)、使压力发生室(12)内产生压力变化的压力发生元件(300)的液体喷射头中，至少在压力发生室(12)的内壁表面上设有由氧化钽制成的耐液体性的保护膜(100)。
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公开(公告)号：CN101544119A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910132628.6
申请日：2009-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岛田胜人
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 提供一种能够提高压电元件的移位特性来实现高速驱动并能够抑制压电体层的破坏来提高耐久性的液体喷射头、液体喷射装置以及执行器。压电体层(70)的端面由向其外侧倾斜的倾斜面构成，构成各压电元件(300)的下电极(60)以比压力产生室(12)的宽度窄的宽度形成，压电体层(70)以比下电极(60)的宽度宽的宽度形成，下电极(60)的端面被压电体层(70)覆盖，振动板(50)的最表层由用氧化钛形成的绝缘体膜(52)构成，下电极的最表层由用镍酸镧形成的取向控制层(62)构成，并且取向控制层(62)和至少取向控制层(62)上的压电体层(70a)由钙钛矿结构的结晶形成，而且晶面方向沿(001)优先取向。
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公开(公告)号：CN101544116A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910129560.6
申请日：2009-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岛田胜人
IPC: B41J2/14
Abstract: 提供一种提高了压电元件的变位特性而能够确保足够的变位量并能够抑制压电体层的破坏而提高了耐久性的液体喷射头、液体喷射装置以及执行器。压电体层(70)的端面由以下电极侧的端部比上电极侧的端部更靠外侧的方式倾斜的倾斜面构成，构成各个压电元件的下电极以比压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且压电体层以比下电极的宽度宽的宽度形成，下电极的端面被压电体层覆盖，振动板的最表层由绝缘体膜构成，该绝缘体膜由氧化钛(TiOx)形成，下电极的最表层由取向控制层构成，该取向控制层由镍酸镧(LaNiyOx)形成，并且取向控制层和至少取向控制层上的压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，并且晶面方向沿(110)优先取向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1856403A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027538.6
申请日：2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外，本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括：形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10)，该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通；和压电元件(300)，其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。
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公开(公告)号：CN1681657A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN03821481.4
申请日：2003-07-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1606 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供一种可以将液体喷出特性长期维持一定并且防止喷嘴堵塞的液体喷射头及其制造方法以及液体喷射装置。在具备由单晶硅基板制成并形成有与喷嘴开口连通的压力发生室(12)的流路形成基板(10)、使压力发生室(12)内产生压力变化的压力发生元件(300)的液体喷射头中，至少在压力发生室(12)的内壁表面上设有由氧化钽制成的耐液体性的保护膜(100)。
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公开(公告)号：CN101544119B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN200910132628.6
申请日：2009-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 岛田胜人
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 提供一种能够提高压电元件的移位特性来实现高速驱动并能够抑制压电体层的破坏来提高耐久性的液体喷射头、液体喷射装置以及执行器。压电体层(70)的端面由向其外侧倾斜的倾斜面构成，构成各压电元件(300)的下电极(60)以比压力产生室(12)的宽度窄的宽度形成，压电体层(70)以比下电极(60)的宽度宽的宽度形成，下电极(60)的端面被压电体层(70)覆盖，振动板(50)的最表层由用氧化钛形成的绝缘体膜(52)构成，下电极的最表层由用镍酸镧形成的取向控制层(62)构成，并且取向控制层(62)和至少取向控制层(62)上的压电体层(70a)由钙钛矿结构的结晶形成，而且晶面方向沿(001)优先取向。
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公开(公告)号：CN1856403B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200480027538.6
申请日：2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1623 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491
Abstract: 本发明提供了一种能够可靠并长时间防止压电元件破坏的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。另外，本发明提供了能够有效地防止由于压电元件驱动所产生的振动板位移量的下降的液体喷头、其制造方法和液体喷射装置。根据本发明的装置包括：形成有压力产生腔(12)的流动通道形成板(10)，该压力产生腔与输送液滴的喷嘴中的开口连通；和压电元件(300)，其包括通过振动板布置在流动通道形成板(10)的一个表面上的下电极(60)、压电层(70)和上电极(80)。构成至少压电元件(300)的各层的图案区域被由无机绝缘材料制成的绝缘膜(100)覆盖。
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公开(公告)号：CN100540314C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200610001974.7
申请日：2006-01-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供了一种液体喷射头。在该液体喷射头中，作为对多个压电元件共用的公共电极的下电极延续地形成直到与压电元件相对的外区域，设置辅助电极层，辅助电极层包括与构成引出电极的层相同的层，并电连接到在与压电元件相对的区域向外定位的下电极，在至少在通路形成衬底的在平行于压电元件排列的方向上的端部附近的第一绝缘膜在与辅助电极层相对的区域中设置有穿透部分，且辅助电极层经由设置在第一绝缘膜中的穿透部分与下电极接触。
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