公开(公告)号：CN108604560B

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201780009278.7

申请日：2017-01-31

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·杰因 ,  A·亚提 ,  T·杰亚瑞曼 ,  R·科努鲁 ,  R·库帕 ,  H·普拉萨德 ,  S·莫穆拉 ,  A·罗布

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 针对图像检视(例如SEM检视)的抗扭斜对准检查与检视坐标系。可使用设计文件或检查图像来自动进行抗扭斜。与检视工具通信的控制器可将所述晶片的文件(例如设计文件或检查图像)与来自所述检视工具的所述晶片的图像对准；比较所述文件的对准位点与来自所述检视工具的所述图像的对准位点；及产生所述文件的所述对准位点的坐标及来自所述检视工具的所述图像的对准位点的坐标的抗扭斜变换。所述晶片的所述图像可不含有缺陷。

公开(公告)号：CN108604560A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780009278.7

申请日：2017-01-31

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： A·杰因 ,  A·亚提 ,  T·杰亚瑞曼 ,  R·科努鲁 ,  R·库帕 ,  H·普拉萨德 ,  S·莫穆拉 ,  A·罗布

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 针对图像检视(例如SEM检视)的抗扭斜对准检查与检视坐标系。可使用设计文件或检查图像来自动进行抗扭斜。与检视工具通信的控制器可将所述晶片的文件(例如设计文件或检查图像)与来自所述检视工具的所述晶片的图像对准；比较所述文件的对准位点与来自所述检视工具的所述图像的对准位点；及产生所述文件的所述对准位点的坐标及来自所述检视工具的所述图像的对准位点的坐标的抗扭斜变换。所述晶片的所述图像可不含有缺陷。