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公开(公告)号：CN110923643A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911389867.X
申请日：2019-12-30
Applicant: 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明涉及靶材绑定技术领域，具体涉及一种平面靶材的绑定方法。本发明提供的平面靶材的绑定方法，包括以下步骤：将背板、绑定材料和靶坯依次叠层放置，进行真空绑定，得到绑定后的平面靶材。本发明利用绑定材料与背板之间，绑定材料与靶坯之间的毛细和扩散作用，进行真空绑定，使得靶坯与背板粘接牢固；本发明采用真空绑定，无需定制高功率的加热平台，无需专业的钎焊炉，相比于普通绑定技术效率高，成本低。实施例结果表明，采用本发明提供的绑定方法，有效绑定面积高达97％以上，无明显的孔洞；能够在500～700℃的高温环境中使用。
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